点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制皮米级精度激光干涉仪相位偏折术/相位偏折测量系统λ/1000超高精度激光干涉仪!c-sense硅压阻自传感悬臂梁高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪白光干涉仪及物镜——三丰MitutoyoSIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS双频激光干涉仪Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪高性价比干涉式激光尺quDIS六自由度激光干涉测量系统 小型桌面式2D膜厚量测设备
λ/1000超高精度激光干涉仪!
爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品,测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术,主要用于高精度的表面(平面,球面,非球面,自由曲面)检测及透射波前检测。

产品参数:


产品特点:

测量光路示例:



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