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光束位置测量

随着激光加工领域对激光束稳定性要求越来越高,德国TEM开发出能同时监测激光束位置和角度变换的PSD 4D探测器。PSD 4D探测器是由产生模拟输出的PSD芯片、输出电路、PSD Reader和Kangoo软件组成。PSD探测器具有极高的检测精度可达1um和1urad,并且仅受信噪比的限制。同样,PSD 探测器也具有较高的检测带宽,可以与大面积的光电二极管相媲美。


根据激光束光斑尺寸的不同,TEM公司开发出了适应不同光斑的尺寸的两种PSD 4D探测器,即PSD 4Dc和PSD 4De。PSD 4Dc适用于9mm一下光斑,具有高集成度、体积小和易安装等优点;PSD 4De针对于9mm以上光斑,可拆分成独立的角度和位置两个探测器,可根据实际光路进行安装调试。PSD 4De可根据客户要求定制180-400nm、350-1100nm(标准波段)、1000-1700nm波段。