SIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS
SP 5000 DS 双光束激光干涉仪用于需要同时获取运动角度和长度信息的测量任务。该干涉仪的测量原理基于 SP 5000 NG 测量设备。
两个测量激光束使用同一频率的共用激光器的光。两个测量光束之间的间距经过高精度校准。测量光束之间的平行度至关重要。
如果两个光束使用同一个反射器，通过形成差值，可在运动中高精度地测量和计算角度。如果两个光束独立运行，则可进行差分测量。
对于差分测量的长期稳定性有特别高要求的情况，我们推荐使用 SP 5000 DI 系列干涉仪。
需要同时获取另一个角度的测量任务，可使用三光束 SP 5000 TR 干涉仪来完成。
双光束激光干涉仪可同时进行精确的长度和角度测量
·高精度的灵活长度测量系统
·角度检测精度高
·易于调整和操作
·可使用多种光学反射器，例如球面反射器、平面镜反射器
·测量反射器允许倾斜角度高达±12.5°
·紧凑型结构
·传感器头有铝、不锈钢或因瓦合金材质可供选择
·光束间距：标准12毫米，其他规格可定制
·可提供OEM版本、OEM软件和真空版本
·丰富的触发选项
SIOS双光束激光干涉仪的规格表
| System parameter | SP 5000 DS |
| Measuring range | 0 m to ≥ 5 m |
| Resolution | 20 pm* |
| Angular measuring ranges with reflector with plane mirror (recommended distance ≤2 m) | ±12.5° ** ±430 µrad |
| Angular resolution (at 0.1 nm length resolution) | 0,01 µrad*** |
| Beam distances (horizontal and vertical) | 12 mm |
| Wavelength | 632.8 nm |
| frequency stability of the HeNe laser(after warm-up time) | 2E-8 |
| Warm-up time of the HeNe laser | 10...20 min |
| Operating temperature range | 15...30°C |
| Max. dISPlacement speed of measuring reflector | 3 m/s |
| Geometric Data | |
| Dimensions (L x W x H): Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU | [199 x 134 x 68] mm [450 x 400 x 150] mm |
| Mass: Sensor head with adjustable mount Electronic evaluation and supply unit EU | 1.6 kg ca. 8 kg |
| Elektronische Daten | |
| Interfaces standard other interfaces on request (/R) | RS232C, USB |
| Cable length between sensor head and electronics unit | 3 m, optionally up to 10 m |
| Power supply | 100...240 VAC / 47...63 Hz |
| Laser safety class according to EN 60825-1:2014 and ANSI Z136.1 (CDRH) | 2M II |
| *in frequency domain **rotary point dependent ***least significant bit (LBS) | |
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