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精密定位平台 | 显微载物台

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多轴压电纳米位移台

  • 多轴压电纳米位移台
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  • 多轴压电纳米位移台
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大行程(10-150mm),高分辨(5nm),高速1000mm/s-多轴纳米位移台

所属类别:位移台 | 偏转镜 | 旋转台 » 精密定位平台 | 显微载物台

所属品牌:昊量光电

北方区负责人

姓名:刘工(Mario)

电话: 131 2285 6820(微信同号)

邮箱:zhanshuo-liu@auniontech.com

微信:点击扫描添加

南方区负责人

姓名:于工(Grin)

电话: 131 2782 0466(微信同号)

邮箱:huaijian-yu@auniontech.com

微信:点击扫描添加

多轴压电纳米位移台  


Xeryon多轴压电纳米平移台可搭配线性、垂直、旋转位移台台,具备大行程(10-150mm),高分辨,高速的特点。

  • 分辨率高达5nm(线性),3µrad(旋转)

  • 速度高达1000mm/s(线性)720°/s(旋转)

多轴压电纳米平移台是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位,视频以XY轴位移台运动为例。




多轴压电纳米平台主要特点:

·紧凑:

每段质量小于40g

·精确:

分辨率高达5 nm(线性)和3µrad(旋转)

·快速:

高达1000mm /s(线性)和720°/s(旋转)

·耐用:

>寿命1000公里(直线),>寿命1000万转(旋转)




多轴压电纳米平台可以提供XY轴,XYZ三轴,X旋转,XY旋转位移台。图为5轴位移台。


控制器和软件:

兼容XD-C(单轴)和XD-M(多轴)控制器。兼容运动控制器,如:

Beckhoff, Omron, Festo, ACS, Elmo等等。

易于使用的Windows界面或LabVIEW驱动程序。

多种库,如c++, Python和MATLAB可用。



真空兼容性:

Xeryon有高真空(HV, 10- 6mbar)和超高真空(UHV, 10- 9mbar)两种型号。

我们提供几种真空馈通法兰,包括D-Sub 15针(标准),Fischer 12针和Lemo 12针。


多轴压电纳米平台主要应用:

·光电子学

·半导体生产

·医学和材料科学

·生命科学与生物技术学

·显微镜和计量学

·扫描电子显微镜



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