多轴压电纳米位移台
Xeryon多轴压电纳米平移台可搭配线性、垂直、旋转位移台台,具备大行程(10-150mm),高分辨,高速的特点。
分辨率高达5nm(线性),3µrad(旋转)
速度高达1000mm/s(线性)720°/s(旋转)
多轴压电纳米平移台是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位,视频以XY轴位移台运动为例。
多轴压电纳米平台主要特点:
·紧凑:
每段质量小于40g
·精确:
分辨率高达5 nm(线性)和3µrad(旋转)
·快速:
高达1000mm /s(线性)和720°/s(旋转)
·耐用:
>寿命1000公里(直线),>寿命1000万转(旋转)
多轴压电纳米平台可以提供XY轴,XYZ三轴,X旋转,XY旋转位移台。图为5轴位移台。
控制器和软件:
兼容XD-C(单轴)和XD-M(多轴)控制器。兼容运动控制器,如:
Beckhoff, Omron, Festo, ACS, Elmo等等。
易于使用的Windows界面或LabVIEW驱动程序。
多种库,如c++, Python和MATLAB可用。
真空兼容性:
Xeryon有高真空(HV, 10- 6mbar)和超高真空(UHV, 10- 9mbar)两种型号。
我们提供几种真空馈通法兰,包括D-Sub 15针(标准),Fischer 12针和Lemo 12针。
多轴压电纳米平台主要应用:
·光电子学
·半导体生产
·医学和材料科学
·生命科学与生物技术学
·显微镜和计量学
·扫描电子显微镜
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