多轴压电纳米位移台
Xeryon多轴压电纳米平移台可搭配线性、垂直、旋转位移台台，具备大行程（10-150mm）,高分辨,高速的特点。
分辨率高达5nm（线性），3µrad（旋转）
速度高达1000mm/s（线性）720°/s（旋转）
多轴压电纳米平移台是由超声波压电马达驱动，可提供不同行程的精确定位，视频以XY轴位移台运动为例。
多轴压电纳米平台主要特点：
·紧凑：
每段质量小于40g
·精确:
分辨率高达5 nm（线性）和3µrad（旋转）
·快速:
高达1000mm /s（线性）和720°/s（旋转）
·耐用:
>寿命1000公里（直线），>寿命1000万转（旋转）
多轴压电纳米平台可以提供XY轴,XYZ三轴，X旋转，XY旋转位移台。图为5轴位移台。
控制器和软件：
兼容XD-C（单轴）和XD-M（多轴）控制器。兼容运动控制器，如：
Beckhoff, Omron, Festo， ACS， Elmo等等。
易于使用的Windows界面或LabVIEW驱动程序。
多种库，如c++， Python和MATLAB可用。
真空兼容性：
Xeryon有高真空（HV, 10- 6mbar）和超高真空（UHV, 10- 9mbar）两种型号。
我们提供几种真空馈通法兰，包括D-Sub 15针（标准），Fischer 12针和Lemo 12针。
多轴压电纳米平台主要应用：
·光电子学
·半导体生产
·医学和材料科学
·生命科学与生物技术学
·显微镜和计量学
·扫描电子显微镜
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