WLI白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo
三丰Mitutoyo新推出具有更高干涉信号对比度，可以同时测高反射率部分和低反射率部分样品的白光干涉显微镜及物镜。
白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo产品特点：
● 实现非接触式3D表面形状测量和轮廓测量
可利用白光干涉原理实现非接触式高精度细微表面性状测量
（例如：3D形状测量、3D粗糙度测量）
● 不依赖于光学倍率的高度测量精度
即使是低倍率镜头，也可使用Z向高分辨力进行测量
● 高纵横比测量
不依赖于光学系统的NA进行检测，支持高纵横比形状测量
● 抗干扰震动的高稳定性
● 小型轻便
使用一般的WLI系统，测量不同反射率的产品时：
当视野中包含高反射率和低反射率的部分
1)配合反射率高的部分调整光量时，反射率低的部分会光量不足。
2)配合反射率低的部分调整光量时，反射率高的部分光量发生饱和，无法测量。
而使用三丰的WLI测量反射率不同地方的测量时，当视野中包含反射率高部分和反射率低部分，光量对准反射率低的部分，也可测量反射率高的部分。
白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo产品规格：
| 货号 | 554-001 | 554-002 | 554-003 | |
| 产品名称 | WLI-Unit-003 | WLI-Unit-005 | WLI-Unit-010 | |
| WLI-Unit传感器测头 | 电缆长度 | 5 | ||
| 适用物镜 | WLI Plan Apo系列 | |||
| 成像倍率 | 1× | |||
| 焦距f（mm） | 100 | |||
| 扫描装置 | 物镜扫描仪 | |||
| 尺寸/质量 | 108×68×191mm/1.7kg | |||
| WLI测量 | Z向移动范围 | 8000 um | ||
| 测量模式 | 高通量 | 标准 | 高分辨率 | |
| WLI测量Z向范围 | 2100 um | 1900 um | 1700 um | |
| 通量 @ 20um范围 | 3 s | 4 s | 6 s | |
| Z向分辨率 | - | 4 nm | ||
| Z向重复性 | - | 40 nm | ||
| 软件 | WLIPAK | WLI-Unit控制库SDK、示例代码、WLIPAK示例GUI | ||
| WLI-Unit校准SW | 像素校准 | |||
| 分析软件(推荐选件) | MCubeMap | |||
| 其它 | 图像采集卡/PC | Matrox图像采集卡（标配）/另需准备PC | ||
白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo案例：
白光干涉测量用物镜WLI Plan Apo
白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo产品特点：
与WLI-Unit配套的新设计
确保长工作距离，小型轻量化（齐焦距离60mm）
高NA，高分辨力
平场复消色差
物镜内部搭载分光器和参考镜
标配干涉条纹调整装置
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