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激光干涉仪

点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制皮米级精度激光干涉仪相位偏折术/相位偏折测量系统λ/1000超高精度激光干涉仪!纳米表面轮廓仪高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪白光干涉显微镜及物镜——三丰MitutoyoKaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪通用光学测量仪——波前/倾角/轮廓测量三合一 显示全部
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白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo

  • 白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo
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提高干涉信号对比度,即使高反射率部分和低反射率部分以各种形式存在,三丰WLI均可测量!

所属类别:光学检测设备 » 激光干涉仪

所属品牌:

产品负责人:

姓名:谷工(Givin)

电话:185 1625 1863(微信同号)

邮箱:zonghao-gu@auniontech.com

WLI白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo


三丰Mitutoyo新推出具有更高干涉信号对比度,可以同时测高反射率部分和低反射率部分样品的白光干涉显微镜及物镜。


白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo产品特点:

● 实现非接触式3D表面形状测量和轮廓测量

可利用白光干涉原理实现非接触式高精度细微表面性状测量

(例如:3D形状测量、3D粗糙度测量)

● 不依赖于光学倍率的高度测量精度

即使是低倍率镜头,也可使用Z向高分辨力进行测量

● 高纵横比测量

不依赖于光学系统的NA进行检测,支持高纵横比形状测量

● 抗干扰震动的高稳定性

● 小型轻便


使用一般的WLI系统,测量不同反射率的产品时:

当视野中包含高反射率和低反射率的部分

 1)配合反射率高的部分调整光量时,反射率低的部分会光量不足。

 2)配合反射率低的部分调整光量时,反射率高的部分光量发生饱和,无法测量。

而使用三丰的WLI测量反射率不同地方的测量时,当视野中包含反射率高部分和反射率低部分,光量对准反射率低的部分,也可测量反射率高的部分。


白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo产品规格:


货号554-001554-002554-003
产品名称WLI-Unit-003WLI-Unit-005WLI-Unit-010
WLI-Unit传感器测头电缆长度5
适用物镜WLI Plan Apo系列
成像倍率
焦距f(mm)100
扫描装置物镜扫描
尺寸/质量108×68×191mm/1.7kg
WLI测量Z向移动范围8000 um
测量模式高通量标准高分辨率
WLI测量Z向范围2100 um1900 um1700 um
通量 @ 20um范围3 s4 s6 s
Z向分辨率 -4 nm
Z向重复性 -40 nm
软件WLIPAKWLI-Unit控制库SDK、示例代码、WLIPAK示例GUI
WLI-Unit校准SW像素校准
分析软件(推荐选件)MCubeMap
其它图像采集卡/PCMatrox图像采集卡(标配)/另需准备PC



白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo案例:



白光干涉测量用物镜WLI Plan Apo


白光干涉显微镜及物镜——三丰Mitutoyo产品特点:

  • 与WLI-Unit配套的新设计

  • 确保长工作距离,小型轻量化(齐焦距离60mm)

  • 高NA,高分辨力

  • 平场复消色差

  • 物镜内部搭载分光器和参考镜

  • 标配干涉条纹调整装置



更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。


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