超分辨率量子显微镜

超分辨率量子显微镜

昊量光电推出Quantum Diamonds GmbH商用化 NV 金刚石量子磁场成像设备厂商，聚焦半导体先进封装失效分析的超分辨率量子显微镜。利用金刚石内部氮 - 空位色心（NV Center）固态量子自旋作为纳米磁场传感器，实现宽视场、非破坏、穿透式电流 / 磁场成像。依托金刚石氮 - 空位（NV）量子色心磁场探测，主打异构集成、3D 先进封装芯片无损失效分析

核心工作原理：MCI 磁电流成像 + NV 量子金刚石传感

• 底层量子传感基础：设备核心传感器为人工合成金刚石内部的氮 - 空位（NV）原子缺陷，NV 色心具备室温稳定量子自旋特性，对微弱磁场高度敏感，依靠光学检测磁共振（ODMR） 将芯片电流产生的磁场转化为光学荧光信号，实现磁场定量成像。

  
  

• MCI 多层磁电流成像流程：

  1.全域磁场采集：一次性捕获多层堆叠芯片同时通电产生的叠加总磁场图谱；

  2.分层磁场剥离：搭载自研机器学习算法，从混合总磁场中分离出每一层金属布线对应的独立磁场分布；

  3.电流密度重建：反演计算每层布线真实电流分布，输出彩色云图电流成像，直观定位短路、开路、漏电缺陷。

核心技术优势：

• 磁场无遮挡穿透：磁场可无损穿透 cmos 硅、金属、封装树脂等所有半导体材料，无需研磨、切片、逐层剥层；

• 纯室温常压工作：无需低温制冷、真空腔体，常规实验室环境即可稳定运行；

• 电性缺陷可视化：X 射线 CT 仅能看物理结构、热成像 LIT 仅捕捉发热点，本设备直接成像电流路径，可检出无发热的隐性开路、微短路、高阻漏电。

产品核心功能与特点：

• 多层堆叠芯片 3D 失效精准定位

• 极低样品制备门槛

• AI 驱动一体化分析软件

• 宽频、高灵敏度磁场探测

• 高稳定工业级整机设计

行业应用场景：

• 2.5D/3D 先进封装、芯粒（Chiplet）失效分析：针对 HBM、CoWoS、中介层、混合键合堆叠芯片，解决垂直互连、层间短路、通孔开路等传统设备无法分层定位的缺陷；客户实测可将原本数周的故障排查缩短至十几分钟，台湾头部晶圆厂评价其可实现完整堆叠结构无损高精度缺陷检测。

• 背面供电（Backside Power Delivery）芯片检测：双面金属化芯片上下层布线互相遮挡，热成像、光学检测无法穿透背面金属层；本设备依靠磁场穿透特性，无损检测双面供电网络完整性，定位背面金属布线漏电、断路。

• 宽禁带功率半导体（GaN、SiC）：新能源、快充、车载功率器件普遍采用硅 + 宽禁带堆叠结构，高频大功率工况下易产生新型层间失效；QD m.0 可精准映射功率回路电流分布，定位功率器件微短路、导通异常。

• 新材料科学表征：用于二维材料、固态电解质等新型材料电学特性表征，通过磁场反演电流密度分布，微米级成像材料内部导电缺陷，支撑新材料研发。

产品参数：

关于昊量光电：

上海昊量光电设备有限公司作为xiton photonics固体激光器在中国的核心代理商，凭借强大的本地化销售网络与专业技术支持团队，长期服务于国内数以万计工业及科研客户，涵盖半导体、生物医疗、量子科技、精密制造、生物显微、物联传感、材料加工、光通讯等前沿领域。

昊量光电拥有的专家级的软硬件开发团队及丰富的行业应用经验，可提供：

✅ 全天候售后技术支持——快速响应，确保设备稳定运行；

✅ 定制化解决方案——从售前咨询到安装，培训，系统集成等，满足多样化需求；

✅ 客户高度认可——服务案例覆盖众多头部企业及高端科研机构，客户满意度持续居前列。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。