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纯相位空间光调制器

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超快激光并行加工专用液晶空间光调制器

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超快激光并行加工专用液晶空间光调制器

    

      液晶空间光调制器(SLM,Spatial Light Modulator)是一种可以通过输入的灰度信息改变液晶两端的控制电压,实现液晶分子偏转,改变入射光的光程差的器件。超快激光并行加工专用液晶空间光调制器可以改变激光的振幅、相位、偏振态等信息,可以灵活的实现激光的分束功能,同时可以控制多光束的焦点位置,光束数量,光束间隔等,从而实现高效精准的超快激光并行加工。基于空间光调制器的计算全息技术可以实现灵活可控的光场分布,飞秒激光可以被精确的调制成预设的多焦点图案阵列,从而实现高效的并行加工,可以大大的提高加工效率。同时利用空间光调制器可以方便的生成贝塞尔光束,可以实现微环形结构的单次曝光式加工。

      美国Meadowlark Optics公司的1920x1152P1920)系列空间光调制器的损伤阈值可达200W/cm2,配备水冷模块,保证液晶的温度恒定,相位调制深度恒定。同时该系列的空间光调制器具有具有分辨率高(1920x1152)、大面阵(17.7x10.6mm)、高填充因子(96%)、高刷新速率([email protected])、高相位稳定性(<0.5%)、宽波段(400-800nm,600-1300nm,850-1650nm)自带优化算法控制软件等特点,必将成为超快激光并行加工的利器。

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