XUV/EUV/VUV光源-紧凑型等离子体光源
proLINE 是昊量光电推出的紧凑型交钥匙极紫外 / 软 X 射线（EUV/SXR）光源，属于桌面级束线光源产品。它基于无电极激光产生等离子体（LPP）技术，通过氪、氮、氙等靶气激发等离子体辐射，覆盖 1–20 nm（对应 60–1200 eV）的 XUV / 软 X 射线波段，支持宽带或单色化输出，可通过切换靶气与单色器参数实现快速、自动化的波长切换。
该光源占地仅 1m×1m，重复频率 20Hz，激光安全等级为 1 级，可适配常规真空与超高真空（UHV）环境，是替代同步辐射、实现桌面级 EUV 实验的成熟方案。
核心优势：
高光通量与高亮度：氪气（1.5–6 nm）通量达 2×10¹⁵ ph/s/sr，2π 立体角输出功率 200mW；氙气（13.0/13.5 nm）通量 7×10¹⁴ ph/s/sr
高稳定与低维护：采用无电极设计实现低碎屑（debris-free）运行，光源功率长期稳定性可达 ±1.5%，降低设备运维精力
紧凑易用，低成本：1m×1m 的桌面级占地面积，交钥匙式设计无需复杂调试，同时可选配集成诊断模块，操作门槛低
灵活可扩展，支持定制
核心参数：
| 项目 | 参数 |
| 产品类型 | 无碎屑激光等离子体软 X 射线光源 |
| 靶气 | 氪气、氮气、氙气（可按需定制其他气体） |
| 重复频率 | 20Hz |
| 光源功率稳定性 | ±1.5% |
| 波长范围 | 1.5-6nm、2.16nm、2.48nm、2.88nm、13.0nm、13.5nm（可按需定制其他波长） |
| 发射角 | 2π 球面度（可选配聚焦单元） |
| 真空适配性 | ＜10⁻⁶ mbar（可提供超高真空 UHV 版本） |
| 激光安全等级 | 1 级 |
| 设备占地面积 | 1m × 1m |
| 参数 | 氪气（krypton） | 氮气（nitrogen） | 氙气（xenon） |
| 波长范围 | 1.5-6nm | 2.48nm、2.88nm | 13.0nm、13.5nm |
| 光子通量 | 2×10¹⁵ph/s/sr （1×10¹³ph/s/sr@450eV） | 1×10¹⁴ph/s/sr | 7×10¹⁴ph/s/sr |
| 输出功率（2π 立体角内） | 200mW | 10mW | 70mW |
| 250μm 聚焦光斑内单色通量（2% 带宽） | 7×10¹⁹ph/s/m² | 2×10¹⁹ph/s/m² | 2×10²²ph/s/m² |
应用领域：
EUV 计量与掩模缺陷检测
光刻胶材料研发与表征
EUV 显微成像、水窗波段生物显微成像
Blue-X 相关研究
等离子体物理、表面科学等基础研究
同步辐射风格的桌面级 XUV / 软 X 射线实验
* 另外，可根据客户要求提供订制，详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。
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关于昊量光电：
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