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快反镜/扫描镜

扫描镜是通过精确控制镜面的偏角来控制光束的偏转方向,扫描镜可用于光束的指向控制和扫描。昊量光电可提供的光束偏转产品包括以下产品:

1)MEMS 扫描镜:由静电驱动,可提供镜面直径从0.8-7.5mm不等产品。一个产品可在点对点、一个轴谐振另外一个点对点控制,两个轴谐振三种不同模式下工作。

2)音圈电机偏转镜:该振镜单个镜面可实现二维扫描,镜面达15mm,机械偏角达25°。

3)微型振镜:驱动器内置,体积仅12*12.5mm,镜面可更换

4)快反镜:由压电陶瓷驱动,角度定位分辨率可达nrad,由于精确光束偏转控制。