高性价比干涉式激光尺
干涉式激光尺摒弃了传统激光干涉仪的分立光学器件结构，将激光器、调制器、光电探测器和滤波器等众多光学元件集成至单一光学芯片上，并与激光二极管、探测器阵列和光学透镜结合，形成小型化的激光传感模组。
高性价比干涉式激光尺特点
（1）可检测进给轴的机械运动误差
（2）光模块等核心部件设计使用寿命为10年
（3）密封胶条后期替换成本低，反射镜结构简单、稳定、可靠
（4）简单的空腔结构使其拥有优异的抗污染能力
（5）完善的防护措施确保了高水平的抗电磁干扰能力
高性价比干涉式激光尺应用
高性价比干涉式激光尺参数指标
| 接口 | 精度 | 分辨率 | 时钟输出 | 移动速度 | 参考点 | 其他 |
TTL | 1ppm 2ppm 5ppm | 5um | ＜=80MHz | ＜240m/min | 默认位于有效 行程中间 | 1、可选485转串口输出，波特率961200，支持二次开发 2、自动检测异常数据并给出ERR到控制设备 3、内置感器，用户可配置材料补偿系数 |
| 1um | ||||||
| 0.5um | ||||||
| 0.1um | ||||||
| 0.05um | ＜120m/min | |||||
| 0.01um | ＜24m/min | |||||
| 0.005um | ＜12m/min | |||||
| 0.001um | ＜2.4m/min | |||||
| 0.0005um | ＜1.2m/min | |||||
| 0.0001um | ＜0.24m/min | |||||
1VPP | 信号周期 | 带宽 | 细分倍数 | |||
| 20um | 500KHz | ＜=1024 | ||||
| 4um | ||||||
| 0.5um | ||||||
| 0.1um | ||||||
BISS-C | 分辨率 | 时钟 | 位宽 | 移动速度 | ||
| 0.001um | ＜=10MHz | 16bit~48bit （可定制） | ＜240m/min | |||
| 0.01um | ||||||
| 0.1um | ||||||
SSI | 分辨率 | 时钟 | ||||
| 0.001um | ＜=10MHz | |||||
| 0.01um | ||||||
| 0.1um |
调频示意图
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