可用于XUV/EUV/VUV光谱仪的高次谐波HHG光源
昊量光电的HHG光束线是交钥匙式工具，使科学家可以完全专注于他们的研究。 我们的产品组合包括高次谐波HHG光源、在线诊断光谱仪、单色仪及聚焦系统。我们还可根据客户技术规格提供定制化实验靶台系统，支持极高复杂度的定制需求。beamLINE 系列光束线采用模块化靶台系统，支持多种靶材配置：气体射流靶、气体毛细管靶、气体池靶以及固体靶。配备可选式低维护金属滤光片实现光谱滤波，确保实验不受杂光干扰，专注于核心测量。
高次谐波产生（HHG）光束线beamLINE系统是一种强大的台式工具，可提供相干的类激光极紫外（XUV/EUV/VUV）和软X射线辐射。已应用于等离子体物理和表面科学等领域的基础研究。激光驱动等离子体光源proLINE提供即插即用的极紫外（XUV/EUV/VUV）辐射，可选宽带输出或单色光输出。
高次谐波HHG光源的基本原理是由飞秒激光与惰性气体（如氩气、氖气）相互作用产生强高次谐波，驱动光源为近红外飞秒激光（通常800nm或1030nm），可实现相干、类激光的（XUV/EUV/VUV）极紫外光/软X射线，可以作为XUV/EUV/VUV光谱仪的光源。
对于阿秒科学实验，该高次谐波HHG光源单个阿秒脉冲的波长范围是6-16nm，阿秒脉冲序列的波长范围是6-120nm。高次谐波HHG光源可以实现高稳定的工作： 科研工作者无需过多关注工具，可以完全专注于研究。 特殊优化的光束稳定性和耐用的气体靶材使得系统可以连续工作12个小时且光通量波动低于3%。搞损伤阈值的靶材以及精心设计的气体输送系统可以保证数月的恒定气流。专为束线使用而设计的金属滤光片可确保下游部分的维护成本低
交钥匙式高次谐波HHG光源产品特点
连续数周稳定运行，无需光路重新校准
低维护工作量，让用户专注实验本身
模块化系统设计，维护便捷
高激光损伤阈值（LIDT）长寿命稳定气体靶
高次谐波HHG光源相关成果
beamLINE 光束线中，双色泵浦碳等离子体与锌等离子体产生的谐波发射高次谐波（HHG）由 37 飞秒驱动脉冲，在 250 飞秒长近红外（NIR）加热脉冲预产生的等离子体中激发产生。碳激光等离子体（LPP）产生的单谐波（第 25 次谐波，30 电子伏特）通量约为 8×10¹³ 光子 / 秒。
G. Boltaev et al, Application of 150 kHz Laser for High-Order Harmonic Generation in Different Plasmas Photonics 7, 66 (2020)
高次谐波HHG光源的规格参数
| 阿秒脉冲波长 | 6-120nm / 10-200eV * |
| 孤立阿秒脉冲波长 | 6-16nm / 80-200eV * |
| 通量稳定性 | <3% rms in 12 hours * |
| 指向稳定性 | <3urad rms in 12 hours * |
| 工作气压 | <10^-9mbar (<10^-11mbar available) |
| 定位 | 手动或电动闭环 |
| 定制能力 | 可定制化 |
| 60nm / 21eV | 13.5nm / 90eV | |
| 平均功率/谐波 | up to 400uW * | up to 0.9uW * |
| 光通量/谐波 | up to 10^14ph/s * | up to 5·10^10ph/s * |
| 谐波带宽 | <10^-2 | <5·10^-3 |
* 匹配适合的激光器
高次谐波HHG光源的相关应用
光电子能谱(tr-ARPES)
相干衍射成像
时间分辨紫外光光谱学
阿秒科学
先J断层扫描
EUV光刻计量学
自旋电子学
XUV/EUV/VUV光谱仪
XUV/EUV/VUV光源
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