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精密定位平台/扫描台

平移台是一种精密定位平台,可实现多维定位和扫描,昊量光电可提供不同类型的平台,按照驱动方式包括以下产品:

1、压电直推位移平台

该平台是利用压电陶瓷的形变完成精确的位移,通常该平台分辨率可达亚纳米级,行程范围在几百微米,使用行程放大杠杆,最大行程可达1500μm。可提供一维;二维;和三维的平台,还可以提供快反镜

2、压电马达位移平台

可提供粘滑式和超声波压电马达平台,该平台可提供纳米级分辨率和最高行程达1.5米。 可用于真空、非磁、低温等环境。

3、电动位移平台

由步进电机或直线电机驱动的平台,可提供亚微米分辨率及1.5米大行程。可提供线性平台、升降台、转台等

此外还提供气浮转台/线性平移台、微型平移台、六维平台等特殊平台。