精密定位平台/扫描台

• 显微镜载物台（电动/压电）

• 亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）

• 纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）

• 亚微米平移台（直线/步进电机，20-1000mm行程）

• 大行程二维电控载物台

• 超小型平移台（亚微米，15mm，已集成电路）

• 超低振动亚微米平移台（气体轴承，1500mm，10-1000KG）

• 高精度微型六维位移台

• 压电旋转平台

• 高精度压电马达角位移台（偏摆台）

• 高精度压电马达夹爪

• 快速反射镜

• 皮米精度位移测量仪

• 纳米级电容位移传感器