SCMOS相机 主动隔振平台 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪
亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）
纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）
纳米振动分析仪
高精度位移测量仪-激光干涉仪
激光测振仪（可mapping）
