高精度垂直压电位移台
XVS系列高精度纳米级垂直定位台采用单Crossfixx™超声压电电机驱动,适用于光学对准、真空腔体精密定位。
XVP系列工业级高负载垂直定位台采用双Crossfixx™超声压电电机并联,负载2.5kg,适用于重型装配、高速检测等场景。
XVS系列垂直位移台核心参数表
型号 | 行程范围 (mm) | 驱动力(N) | 分辨率 (nm) | 重复精度 (nm) | 速度(max)(mm/s) |
XVS-1-40 | 25(SC版30) | 1 | 1250/312/78/5 | ±80(单向) / ±160(双向) | 100(真空50) |
XVS-3-40 | 25(SC版30) | 3 | |||
XVS-3-60 | 40(SC版48) | 3 | |||
XVS-3-80 | 50(SC版69) | 3 | 50(真空25) | ||
环境使用要求 | 工作温度-30℃~+70℃ 湿度要求20%-90% RH |
XVS系列垂直位移台
·定位:高精度纳米级垂直定位平台,为轻载精密应用设计。
·核心特点:
·采用单Crossfixx™超声压电电机,实现无振动、静音操作。
·断电自锁功能,断电后仍保持位置稳定。
·可选质量补偿模块(MC1-MC4),负载能力提升至350g。
·兼容HV/UHV真空环境,热耗散<5W,适合稳定纳米定位。
XPS系列垂直位移台核心参数表
型号 | 行程范围 (mm) | 驱动力(min)(N) | 分辨率 (nm) | 重复精度 (nm) | 速度(max)(mm/s) |
XVP-80 | 10 | 15 | 1250/312/78/5 | ±50(双向) /±2500(双向) | 50/100 |
环境使用要求 | 工作温度-30℃~+70℃ 湿度要求20%-90% RH |
XPS系列垂直位移台
·定位:高负载、高速垂直运动平台。
·核心特点:
·双Crossfixx™电机并联,驱动力达15 N(保持力30 N),负载能力2.5 kg。
·12V低电压驱动,适合嵌入式系统集成。
·可选低磁/非磁轴承(-LM/-NM),减少磁场干扰。
关键选型建议:
5nm分辨率型号必须搭配XD-M控制器
UHV版本需指定无护套电缆和特殊连接器
超过100g负载建议采用MC1-4补偿方案
·需纳米级定位:选择XVS-3-40-5-HV(5 nm分辨率,25 mm行程)。
·需高速大负载:选择XVP-80-1250(1250 nm分辨率,1000 mm/s速度)
应用场景
·光学系统校准
·真空环境应用
·生物样本操作
·生产线高速检测
1000 mm/s扫描速度实现PCB板缺陷快速筛查。
·重型装配
机器人末端执行器搬运2.5 kg光学元件(双电机30N保持力防滑落)。
·医疗设备驱动
手术机械臂的垂直进给(12V低压安全驱动,非磁轴承避免MRI干扰)
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