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激光干涉仪

点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制皮米级精度激光干涉仪相位偏折术/相位偏折测量系统λ/1000超高精度激光干涉仪!c-sense硅压阻自传感悬臂梁高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪白光干涉仪及物镜——三丰MitutoyoSIOS双光束激光干涉仪SP 5000 DS双频激光干涉仪Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪高性价比干涉式激光尺quDIS六自由度激光干涉测量系统 小型桌面式2D膜厚量测设备光栅尺 显示全部
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光栅尺

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精密之眼,位移之尺!适用于大型机床的精密导航,通过补偿运动误差,超长行程的可靠保障。‌

所属类别:光学检测设备 » 激光干涉仪

所属品牌:

产品负责人:

姓名:石工(James)

电话:130 2016 6105(微信同号)

邮箱:zuyao-shi@auniontech.com

SmarAct光栅尺


SmarAct 的光栅尺属于 METIRIO® 光学编码器家族的“标尺(scale)”部分,配合 METIRIO 微型读头使用,专为纳米级闭环定位、真空兼容、OEM 集成设计。

身份:METIRIO 是“读头 + 光栅尺”成套光学编码器,光栅尺只是其中的反射式标尺件。

栅距统一 20 µm:所有尺(直线/旋转/曲面/2D)增量轨道周期均为 P = 20 µm,参考轨道带单标记或距离编码。

双轨结构:增量轨 A(20 µm 振幅光栅)+ 参考轨 B(反射/吸收型参考标记,长度 = 25 个周期),两轨之间由“轨道分离线 TSL”分隔,读头居中对准。

读头内集成光源(850 nm)照亮标尺 → 反射光产生干涉图样 → 读头内光电二极管阵列检测 → 相对运动输出模拟 sin/cos(1 Vpp)+ TTL 参考脉冲。

20 µm 是周期不是分辨率,靠后续细分做到 nm 级。

集成光源照亮一个刻度,包括一个间距为20 μm的增量光栅和一个带有绝对定位参考标记的轨道。所述反射光产生干涉图样,所述干涉图样由所述读头内的二极管阵列检测。刻度和读头之间的相对运动导致模拟正弦和余弦信号以及TTL形状的参考标记。



直线光栅:

•高分辨率结合高带宽

… 0.4 nm resolution at 1 m/s 

… up to 10 m/s positioning speed

•长度可达 2 m

•定制尺寸(如长度、宽度、厚度、直径)

•柔性弯曲材料

•不同的基材 

•特殊参考标记代码


材质

至大长度

精度

CTE (/K)

适用场景

黑玻璃

300 mm

10 µm/m

7.2×10⁻⁶

短行程、高对比度

钠钙玻璃(透明)

2 m

5 µm/m

9.4×10⁻⁶

长行程通用

Robax 低膨胀玻璃

2 m

1 µm/m

0.5×10⁻⁶

超精密、计量

Borofloat 玻璃

2 m

5 µm/m

0.5×10⁻⁶

低膨胀需求

钢

1 m

3 µm/m

12×10⁻⁶

工业机械兼容

铝

1 m

1 µm/m

23×10⁻⁶

轻量、导热好


Metirio Read Head

Metirio 编码器产品线的核心是基本的Metirio Read Head读取头。所有光电部件都完全集成在类似小型封装的结构中。通风槽确保在真空环境中快速排气,还可用于抓取。由于所有连接引脚都在陶瓷基板的底部,因此可以直接焊接到电路板上。梅蒂里奥读取头可以通过多种方式安装到任何机械外壳上。这为操作Metirio 编码器提供了很大的灵活性。对于光机械对准,可以使用玻璃表面或金属框架。

Metirio A1是随时可用的安装螺纹,电缆和插头的选择。信号调整是快速完成与编码器评估套件。所有设置都可以永久存储到内部存储器中。
在光机械校准后,Metirio A1可以直接连接到运动控制器并按预期使用。

Metirio定制

特殊的调整,如孔模式和螺纹,以及其他外壳形状的Metirio可以实现,而无需更多的麻烦。如果客户使用不应该或不能适应的机械接口,我们或客户可以将Metirio传感器集成到兼容的外壳中。如果有任何要求或问题,请不要犹豫与我们联系。

光机位对齐

Metirio编码器具有相对较大的校准公差,这使得集成相当容易。编码器安装在运动系统的固定或可移动部分,刻度安装在另一侧。该秤可贴附胶粘剂,包括两条轨道用于位置测量。一条轨道用于高分辨率增量信号,另一条轨道用于参考标记检测。

为了固定Metirio A1,可以使用M1.6安装螺纹。

兼容性

编码器Metirio家族是兼容各种类型的反射光栅尺。只要间距为20µm,光栅尺可以是线性、圆形或弯曲到凸形。一个读头可用于所有类型的光栅尺。SmarAct提供各种不同的光栅尺:




镀有反光铬涂层的玻璃是非常适合制作Metirio编码器测量刻度的材料。每个刻度包括一个高精度的增量轨道和一个附加的轨道携带参考标记。由于其多样性,Metirio还可以使用不同的材料和定制尺寸几何形状,以适应您的特殊应用。






易于逐步集成的编码器评估套件:


1. 将测距仪和编码器安装到您的运动系统上。2. 将编码器连接到评估模块,然后在移动您的开环平台时,只需使用我们的软件调整原始信号即可。3. 将设置永久存储到编码器的内存中。4. 现在您可以将编码器连接到您的运动控制器并开始闭环运动。SmarAct 提供了额外的数字 14 位接口模块,例如带有 ABZ 或 BiSS-C 接口的模块。


欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司凭借强大的本地化销售网络与专业技术支持团队,长期服务于国内数以万计工业及科研客户,涵盖半导体、生物医疗、量子科技、精密制造、生物显微、物联传感、材料加工、光通讯等前沿领域。

昊量光电拥有的专家级的软硬件开发团队及丰富的行业应用经验,可提供:

✅ 全天候售后技术支持——快速响应,确保设备稳定运行;

✅ 定制化解决方案——从售前咨询到安装,培训,系统集成等,满足多样化需求;

✅ 客户高度认可——服务案例覆盖众多头部企业及高端科研机构,客户满意度持续居前列。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。

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