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主动隔振平台

隔振可分为两类:主动隔振和被动隔振。其中主动隔振是通过传感器和执行器,提供大小相等,方向相反的力,抵消振动对目标的影响。主动隔振克服了被动各种平台的共振频率附近频率无法消除的问题,拓展了隔振的频率范围(尤其是低频范围),极大降低了振动传递率。


主动隔振使产品具有更低的共振频率应用于扫描探针显微镜(SPM),共聚焦激光显微镜,干涉仪系统,三维形状测量机,激光位移测量系统,其他精密测量和精密加工机。明立精机推出的MAPS 主动隔振系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 组4 个的话,对应全自由度的振动,能发挥出优秀的除振性能、制振性能、定位性能等。ME40系列紧凑的机身集成了6 自由度的主动除振机构,可提供以往的被动型无法实现的振动环境。这款机器可以很大限度的发挥近年来发展神速的纳米技术领域所要求的高精度及高分解能。