quDIS六自由度激光干涉测量系统

quDIS六自由度激光干涉测量系统 -  高精度位姿测量解决方案!

基于皮米级精度激光干涉仪的 6 自由度位姿测量系统利用多光斑干涉测量与严谨的坐标标定算法， 一次标定即可在后续运动过程中实时输出三维位置与姿态变化， 让位移台 / 工装 / 被测件的每一个微小运动都可见、可控、可溯源。是一种用于校准和评估各种运动系统和机械的多轴精度的仪器。通常用于制造、机器人、数控机床和坐标测量机等应用领域，以保持设备的精度和可靠性。

为什么需要“真”六自由度测量？

激光干涉仪行业痛点：

传统传感器多为单轴或少量自由度，难以反映真实空间运动。

视觉方案在高精度、小行程、遮挡场景下往往受限明显。

部分 6DOF 方案依赖复杂工装和昂贵基准，部署与维护成本高。

现有方案数学模型封闭，难以与高端控制系统深度耦合。

quDIS六自由度激光干涉测量系统 的解决方案：

基于干涉测量，分辨率高，动态响应快。

利用位移台自身的纯平移 / 纯旋转动作完成标定，无需额外基准。

完整公开的坐标变换与方程组，便于验证、优化与二次开发。

可输出标准化 6DOF 数据流，快速接入现有上位机与控制系统。

quDIS六自由度激光干涉测量系统的原理总览：

从光程变化到 6DOF 位姿

整个系统以干涉仪测量的光程变化为输入， 经由“坐标系标定 → 光斑位置标定 → 干涉仪-位移台关系标定 → 任意姿态解算”四步， zui终输出干涉仪坐标系相对于参考系的旋转矩阵 与平移向量。

quDIS六自由度激光干涉测量系统的优势：为高端精密场景而生

数学模型可追溯

全链路可解析

从位移台运动、坐标变换到干涉测量与姿态解算， 每一步都有明确公式与几何意义，便于验证、建模与二次开发。

标定流程简单

利用平台自身即可标定

只需要位移台能执行可控的纯平移与纯旋转运动， 无需额外外部基准，大幅降低部署与维护门槛。

高精度 & 高稳定性

干涉测量 + 优化算法

光程差测量带来自然的高分辨率， 配合zui小二乘与非线性优化，抵御噪声与漂移。

易集成

多平台快速接入

提供标准 6DOF 数据接口， 支持与多轴控制器、机器人、机床等系统对接。

可扩展

光斑数量与配置可定制

基于同一理论框架，可扩展不同光斑布局与数量， 适配不同尺寸与刚度的被测目标。

工程友好

面向现场的工具链

提供标定向导、数据质量评估、日志追踪等辅助功能， 支持生产现场长期稳定运行。

quDIS六自由度激光干涉测量系统典型的应用场景:

高精度装配与主动对准

光学元件、光栅、掩模版的六自由度精调。

光通信器件、光学模块、传感器等的主动对准控制。

高端装备装配环节的误差可视化与过程控制。

运动平台标定与误差补偿

线性位移台 / 转台 / 六维平台等的几何误差测量。

机床工作台的姿态误差识别与补偿策略开发。

机器人末端执行器的姿态监控与校正。

科研实验与结构测量

刚体运动学验证、柔性结构变形测量。

精密仪器长期稳定性与环境敏感性分析。

振动模式、共振特性及动态响应研究。

更多定制场景

在任何需要精确获取“位移 + 转角”的场合， 均可基于本系统进行二次开发与深度集成。

真空 / 超净环境

大行程平台

复杂多轴联动

在轨 / 特殊工况

quDIS六自由度激光干涉测量系统测试的内容：

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