XUV/EUV/VUV单色仪
昊量光电是专注于真空紫外（VUV）、极紫外（XUV）波段光谱仪器的专业厂商，单色仪产品线围绕真空紫外（VUV）、极紫外（XUV）波段波段分光、单色化的核心需求，形成两大系列共三款主力产品，覆盖从常规实验室检测到光束线级系统集成的多元场景，是 VUV /XUV光谱领域的主流高端设备。
全系产品均工作于真空紫外波段，基于平面光栅、环面光栅等成熟光学架构，可适配各类 VUV 光源、等离子体源、高次谐波产生（HHG）光束线、光电子能谱等科研与工业测试场景，三款核心型号如下：
easyLIGHT VUV
easyLIGHT VUV 是紧凑型真空紫外（VUV）一体化光谱设备，同时具备光谱仪与单色仪双重功能，工作波段覆盖 80-300nm。该产品主打易用性、高性价比与紧凑体积，采用像差校正光栅光学方案，是面向桌面级 VUV 光谱检测的通用型设备，可快速适配各类实验室真空系统与光源场景。
一机双模式，灵活切换：模块化光学设计支持光谱仪（摄谱）与单色仪模式快速切换
同级别advanced的光学效率：搭载像差校正光栅，峰值光栅效率可达 43%
高度模块化，集成自由度高：腔体配备 3 个辅助端口，可灵活接入真空泵、真空规、电气馈通等附件
紧凑易用，支持定制：桌面式布局占用空间小，部署集成难度低；同时支持定制化衍生版本
应用领域：
激光诱导击穿光谱（LIBS）分析
各类 VUV 等离子体光源的光谱表征
高次谐波产生（HHG）的光谱测量
原子分子物理、稀有气体发射光谱研究
精密光谱领域（如钍核光钟跃迁的 VUV 激光表征）
材料偏振高次谐波光谱等前沿科研场景
monoLIGHT VUV
monoLIGHT VUV 是环面光栅型真空紫外 / 极紫外（VUV/XUV）单色仪，专为 VUV/EUV 等离子体光源、高次谐波（HHG）光束线场景打造。产品采用掠入射环面光栅光学架构，工作波段覆盖 10-300nm，通过三种配置完整覆盖 VUV 至 XUV 全区间，可输出稳定的可调谐单色光，是实验室光束线、表面分析系统的核心分光设备。
超宽波段覆盖，适配多类光源：光谱范围达 10-300nm，完整覆盖真空紫外到极紫外波段，匹配 VUV 放电光源、EUV 等离子体源、高次谐波等多种光源
掠入射环面光栅，高通量与低像差兼顾：尤其提升了极紫外等弱光波段的信号强度，同时保障光谱分辨率与光强输出
高精度自动化波长调节：搭载闭环定位机构，可通过软件实现自动化波长选择，波长调节重复性优异
光束线友好型设计，支持定制：整机结构适配标准光束线与真空系统接口，集成难度低；同时支持定制化衍生版本，包括超高真空（UHV）版本
光谱带通灵活可调：光谱带通支持手动或电动调节，用户可根据实验需求，在高分辨率与高光通量之间灵活切换
应用领域：
VUV 光源单色化输出
紫外光电子能谱（UPS）测试
角分辨光电子能谱（ARPES）实验
EUV 等离子体光源单色化分光
高次谐波（HHG）光束线的波长选择与分光
表面物理、材料电子结构分析
monoLIGHT VUV HR
monoLIGHT VUV HR 是高通量环面光栅型真空紫外（VUV）单色仪，专为实验室 VUV 光源打造，兼容市面主流 VUV 光源型号。产品标准配置针对 He I、He II 特征谱线做了效率优化，在保障高光谱分辨率的同时实现极高的光通量输出，且光束指向稳定性优异，是光电子能谱类精密实验的核心分光设备，支持高度定制化以匹配不同实验系统。
高光通量与优异光谱性能：标准配置 1200 线 / 毫米 He II 环面光栅，He I 一级衍射效率 10%、He II 一级衍射效率 20%，二级衍射效率低于 0.5%；充分利用光源立体角，单色化后样品端光强表现优异，可在 1meV 带宽下完整分离 He I α 与 He I β 谱线，兼顾分辨率与光输出强度。
升级的光束指向稳定性：长期运行下光束偏移量极低，适配对光束稳定性要求严苛的精密表征实验
强兼容性与高度定制化：适配绝大多数市售 VUV 光源，支持多种放电气体对应的光栅选配；入射 / 出射臂长、接口规格均可按需定制，还可提供多气体、多光源版本，以及电动波长调节、差分时抽气等特殊方案。
真空友好的紧凑设计：标配 CF35 输入 / 输出端口、CF100 抽气口，支持zui高 120℃烘烤除气，适配高真空系统
应用领域：
实验室 VUV 光源的单色化输出
紫外光电子能谱（UPS）测试
角分辨光电子能谱（ARPES）实验
稀有气体放电光源分光、高分辨 VUV 光谱研究
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