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精密定位平台/扫描台

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纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)

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纳米级精度高速大行程压电马达线性平移台!

所属类别:位移台/偏转镜/隔振台 » 精密定位平台/扫描台

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产品负责人:

姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363(微信同号)

邮箱:wentao-li@auniontech.com


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纳米级高速大行程压电马达平移台


XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台非常适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。

该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。


XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台

1)集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm,


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

1250

nm

unidirectional   repeatability

±1250

nm

bidirectional   repeatability

±2500

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

2)集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

350

nm

unidirectional   repeatability

±350

nm

bidirectional   repeatability

±700

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

80

nm

unidirectional   repeatability

±80

nm

bidirectional   repeatability

±160

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m

4) 集成-1位置传感器的压电马达平台-min setp25nm


XLS-1-40

XLS-1-50

XLS-1-60

XLS-1-70

XLS-1-80

XLS-1-100

XLS-1-120

Unit

travel   range

27

32

37

42

50

72

92

mm

resolution

25

nm

unidirectional   repeatability

±25

nm

bidirectional   repeatability

±50

nm

load   capacity

0.5

kg

holding   force

1

N

driving   force

1

N

max.   speed

200

mm/s

min.   speed

2 to 5

mm/s

cable   length

1.5

m


此外,由于该平台采用模块化设计,可以组成多维位移平台,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。


 

主要特点:

l  大行程 (100mm)

l  高精度(25nm)

l  高速度(100mm/s)

l  支持断电自锁

l  可在真空和非磁环境

主要应用:

l  光电子学

l  扫描电子显微镜

l  半导体生产

l  医学和材料科学

l  生命科学与生物技术学

l  显微镜和计量学

 



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产品标签:压电马达线性平移台,压电马达平移台,纳米级平移台,大行程压电平移台,压电马达微动台,一维压电马达平移台,压电马达驱动定位器,压电超声马达,