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所属类别:位移台 | 偏转镜 | 旋转台 » 精密定位平台 | 显微载物台
XLS系列线性位移平台,是由超声波压电马达驱动,可提供不同行程的精确定位。由于采用超声波压电马达驱动,速度可达到200mm/s,并且该平台适用于扫描,可提供恒定的扫描速度,速度不稳定性低于2%。
该平台采用超声波马达,对于这种马达平台的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。通过椭圆的振荡推动平台产生微小移动,并通过高频率产生极高的速度,并且没有噪声,电机在定位后可产生自锁,由于马达在椭圆振荡的上端才会与平台接触,大大提高平台的使用寿命通常在10-100km。
XLS系列平台可提供不同的行程,行程范围可达到92mm。为了适应不同精度要求的应用,平台集成不同精度的位置传感器,根据闭环系统中传感器的精度可分为以下几类线性平台
1)集成-1250位置传感器的压电马达平台-min setp1250nm,
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 1250 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±1250 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±2500 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
2)集成-312位置传感器的压电马达平台-min setp350nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 350 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±350 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±700 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
3) 集成-78位置传感器的压电马达平台-min setp80nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 80 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±80 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±160 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
4) 集成-1位置传感器的压电马达平台-min setp25nm
XLS-1-40 | XLS-1-50 | XLS-1-60 | XLS-1-70 | XLS-1-80 | XLS-1-100 | XLS-1-120 | Unit | |
travel range | 27 | 32 | 37 | 42 | 50 | 72 | 92 | mm |
resolution | 25 | nm | ||||||
unidirectional repeatability | ±25 | nm | ||||||
bidirectional repeatability | ±50 | nm | ||||||
load capacity | 0.5 | kg | ||||||
holding force | 1 | N | ||||||
driving force | 1 | N | ||||||
max. speed | 200 | mm/s | ||||||
min. speed | 2 to 5 | mm/s | ||||||
cable length | 1.5 | m |
此外,由于该平台采用模块化设计,可以组成多维位移平台,例如:XY;XYZ,XYQ等。并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。
主要特点:
l 大行程 (100mm)
l 高精度(25nm)
l 高速度(100mm/s)
l 支持断电自锁
l 可在真空和非磁环境
主要应用:
l 光电子学
l 扫描电子显微镜
l 半导体生产
l 医学和材料科学
l 生命科学与生物技术学
l 显微镜和计量学
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