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应力测量系统

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超精密光学应力测量设备-硫系玻璃及Si,SiC,GaN等应力测量

  • 超精密光学应力测量设备-硫系玻璃及Si,SiC,GaN等应力测量
150AT科研级高精度全自动应力双折射测量系统 全自动应力双折射测量系统

所属类别:光学检测设备 » 应力测量系统

所属品牌:美国Hinds Instruments公司

产品负责人:

姓名:陆工(Cody)

电话:185 1625 1865(微信同号)

邮箱:zhou-lu@auniontech.com

150AT全自动应力双折射测量系统

 

科研级高精度应力测量系统


150AT 应力双折射系统是Hinds应力双折射测量系统家族系列产品。该应力双折射测量系统既可作为实验室科研探索测量光学组件应力分布测量,也可用作诸如玻璃面板,透镜,晶体,单晶硅/多晶硅、注塑成品等工业生产中检测产品应力分布。尤其是对硫系玻璃及Si,SiC,GaN等第三代半导体测量有着特别优势。

产品软件直观显示待测样品应力情况,便于操作和日常监测。

 

150AT 应力双折射系统可以根据客户需求选择设置,使得测量更有针对性(高精度/大范围相位延迟量),系统有着极高测量速度的同时也具有极高的测量分辨能力(<1 mm grid spacing ),150AT应力双折射系统也提供倾斜位移平台等设计来帮助客户完成一些非常规扫描/测量需求。



产品特点

自动X/Y位移平台扫描
二维/三维图形/参数表格显示样品应力分布测量结果
台式整机设计组装
灵活位移平台设计,满足个性化定制需求
强大数据拟合分析功能和友好用户界面

 

参数


高精度测量系统选项

大范围相位延迟量测量选项

相位延迟量范围:

0.005 to 120+   nm

0.005 to 300+   nm

相位延迟量测量分辨率/
 
重复精度1, 2, 3:

0.001 nm / ±   0.008 nm

0.0

1 nm / ± 0.015   nm

角度测量分辨率 /
 
重复精度1:

0.01º / ±   0.05°

0.01º / ±   0.07°

测量速率 / 时间4:

up to 100 pps   /
  sample size dependent


尺寸:

910 mm (H) x   415 mm (W) x 700 mm (D)


光源波长5:

Various (632.8   nm standard)


测量光斑6:

Between 1 mm   and 3 mm native
  (can be as low as 50 µm)


内置测量调制频率:

PEMLabsTM Photoelastic   Modulator
  50 kHz or 50/60 kHz


解调分析技术:

Hinds   Instruments SignalocTM
  Lock-in Amplifier or Wave Form
  Capture Card


测量单位:

nm   (retardation), ° (angle)


 

1 Typical performance at 5 nm retardation

2 Up to 0.8 nm, 1% thereafter

3 Up to 1.5 nm, 1% thereafter

4 Maximum data collection speed. Sample XY scan time dependent on stage movement parameters.

5 Custom wavelengths available

6spot sizes of less that 1 mm native require optional high resolution detector module

 

选项:

* Additional Polarization Parameters

* 超高速扫描选项

* 光谱扫描测量和RGB测量

* 客户定制内置波长选项(紫外/红外)

* 手动/自动倾斜位移平台装置

* 定制样品平台加持谁记

* 定制化显示界面 (UI or DLL)

* 应力计算评估软件


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