AUT-FST 5000 薄膜应力测量仪
基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用激光扫描方式和探测技术，以及智能化的操作，使得AUT-FST5000薄膜应力仪特别适合于晶圆类光电薄膜样品的弓高、翘曲、轮廓形貌、曲率半径和薄膜应力测量和计算.
规格 | 参数 |
基本原理 | 激光曲率法 基于Stoney公式 |
主要方法 | 采用双波长激光对样品进行扫描测量 635 nm/670 nm 波长/ ≤5mW |
主要功能 | 自动测量晶圆样品轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力 |
薄膜应力测试范围 | 1- 10000 MPa |
曲率半径测试范围 | 2- 20000 m |
曲率半径重复精度 | ≤±1 % @1σ（曲率半径≤20 m） ≤±2.5 % @1σ （曲率半径 ≤ 200 m） |
扫描步长 | 0.1 mm |
样品尺寸 | 子型号M6-标配6 英寸，向下兼容4、3、2 英寸子型号M8-标配8 英寸，向下兼容6、4、2 英寸 子型号M12-标配12英寸，向下兼容8、6、4 英寸 |
样品台 | 电动旋转+水平位移样品台 |
样品基片校正 | 可数据处理校正原始表面不平影响（对减模式） |
电源 | 110-220 VAC & 200 Watts Maximum |
通讯连接端口 | USB 3.0 |
工作温度 | 室温 |
操作软件 | 可视化2D/3D显示晶圆轮廓形貌、弓高、翘曲度、曲率半径和薄膜应力分布；一键自动生成检测报告；视窗界面/适用于Windows 10 系统 |
操作电脑 | 标配品牌台式一体机： 显示器：≥21英寸，≥8 G内存，CPU ≥ 2.5 GHz，≥512 G硬盘 |
外形尺寸 | ～850 宽×550深×450 高 mm |
重量 | ~ 35 K g |
质量保证 | 一年免费/终身维护 |
备注 | 以上所列技术规格与参数更新恕不另行通知，如有疑问请联系我们 |
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