扫描探针显微镜 AFM
纳米级三维形貌测量解决方案

昊量光电推出的Top Nano-Basic AFM 基础型原子力显微镜,是一款面向纳米尺度表面形貌观察与材料微观结构分析的扫描探针显微镜。
产品采用扫描探头与样品台一体化设计,并结合精密探针定位、智能自动进针、高清正视与侧视显微成像以及弹簧悬挂式防震结构,可实现样品表面的高分辨率扫描与三维形貌分析。
系列提供 BASIC AFM-S20N、BASIC AFM-S20T、BASIC AFM-S50N、BASIC AFM-S50T 四种型号,可根据扫描范围、样品台行程以及触摸屏配置选择适合的产品。
主机集成化设计
主机采用集成化结构,与控制箱分开设计,整体结构简洁,方便设备使用与维护。
扫描探头与样品台一体化
扫描探头和样品台集成一体,有助于提升系统的抗干扰能力,为稳定扫描提供良好基础。
精密探针定位
采用精密探针定位模块,方便进行探针安装与更换,提高实验操作效率。
样品趋近探针设计
采用样品趋近探针的工作方式,使探针针尖能够垂直于样品表面进行扫描。
智能自动进针
采用压电陶瓷自动探测的智能进针方式,有助于保护探针及样品,降低人工进针带来的操作风险。
大范围样品移动
配备高精度、大范围样品移动装置,可自由选择感兴趣的样品扫描区域。
正视与侧视双显微成像
配备高清正视和侧视显微成像装置,无需调焦,可实时观察激光光斑位置、样品扫描区域以及探针与样品的接近状态。
高清触摸屏控制
部分型号配备7英寸触摸屏,可进行显微图像显示、光学照明亮度调节、激光光斑寻找探针、PSD光斑对中、样品台移动以及样品趋近探针等操作。
弹簧悬挂式防震
采用弹簧悬挂式防震方式,结构简单实用,可提升设备抗外界振动干扰能力。
金属屏蔽隔音箱
配备金属屏蔽隔音箱,并内置温度、湿度传感器,可实时监测仪器工作环境。
模块化电子控制系统
电子控制系统采用模块化设计,便于后续电路改进、维护和系统升级。
扫描方式:XYZ三轴全样品扫描
工作模式:接触模式、轻敲模式
力谱曲线:F-Z力曲线、RMS-Z曲线
扫描角度:0~360°
扫描速率:0.6 Hz~30 Hz
Z扫描范围:5 μm
扫描分辨率:横向0.2 nm,纵向0.05 nm
| 项目 | 参数 | BASIC AFM-S20N | BASIC AFM-S20T | BASIC AFM-S5ON | BASIC AFM-S50T |
| 样品尺寸 | 蕞大直径70 mm,厚度20 mm | √ | √ | √ | √ |
| 样品台行程 | 20×20 mm | √ | √ | — | — |
| 30×30 mm | — | — | √ | √ | |
| 扫描方式 | XYZ三轴全样品扫描 | √ | √ | √ | √ |
| XY扫描范围 | 20×20 μm | √ | √ | — | — |
| 50×50 μm | — | — | √ | √ | |
| Z扫描范围 | 5 μm | √ | √ | √ | √ |
| 扫描分辨率 | 横向0.2 nm,纵向0.05 nm | √ | √ | √ | √ |
| 扫描速率 | 0.6 Hz~30 Hz | √ | √ | √ | √ |
| 扫描角度 | 0~360° | √ | √ | √ | √ |
| 工作模式 | 接触模式、轻敲模式 | √ | √ | √ | √ |
| 力谱曲线 | F-Z力曲线、RMS-Z曲线 | √ | √ | √ | √ |
| 显微成像 | 正视成像、侧视成像 | √ | √ | √ | √ |
| 7英寸触摸屏 | 1024×600 | — | √ | — | √ |
| 减震设计 | 金属屏蔽箱 / 弹簧悬挂 | √ | √ | √ | √ |
| 运行环境 | Windows XP / 7 / 8 / 10 操作系统 | √ | √ | √ | √ |
| 型号 | XY扫描范围 | 样品台行程 | 7英寸触摸屏 |
| BASIC AFM-S20N | 20×20 μm | 20×20 mm | 无 |
| BASIC AFM-S20T | 20×20 μm | 20×20 mm | 有 |
| BASIC AFM-S50N | 50×50 μm | 30×30 mm | 无 |
| BASIC AFM-S50T | 50×50 μm | 30×30 mm | 有 |
如果主要进行较小范围样品扫描,可选择S20系列;如果需要更大的XY扫描范围及样品台移动行程,可选择S50系列。
在相同扫描范围下,需要7英寸触摸屏操作功能时,可选择T系列型号。
纳米级分辨能力: 横向分辨率可达0.2 nm,纵向分辨率可达0.05 nm,可用于微纳尺度表面形貌分析。
双扫描模式: 支持接触模式和轻敲模式,可满足不同样品测试需求。
双视角显微观察: 通过正视与侧视显微成像,可实时观察探针、样品及激光光斑位置。
智能探针保护: 压电陶瓷自动探测进针方式,有助于降低探针及样品损伤风险。
良好的抗干扰设计: 集成式扫描结构、弹簧悬挂防震及金属屏蔽隔音箱共同提升系统稳定性。
多型号可选: 提供20×20 μm和50×50 μm两种XY扫描范围,并提供普通版和触摸屏版型号。

Top Nano-Basic AFM 可用于多种材料及微纳结构的表面形貌测试与分析。PDF中展示了多类典型AFM测试案例,包括干涉光栅、纳米结构、氧化物材料、聚合物、薄膜以及二维材料等。
干涉光栅表面形貌检测
纳米刻蚀结构观察
纳米颗粒及纳米球形貌分析
钛酸锶等氧化物材料表面分析
纳米薄膜边缘形貌测试
聚合物混合物微观形貌分析
二氧化钛表面测试
氨基酸微观结构观察
石墨烯表面形貌测试
SrTiO3等材料微纳结构分析
从微纳材料研发、薄膜表面分析到纳米结构表征,Top Nano-Basic AFM 可为科研实验和材料分析提供纳米尺度的三维表面形貌测量支持。
原子力显微镜主要用于微纳尺度样品表面的形貌扫描和结构分析。Top Nano-Basic AFM 支持XYZ三轴全样品扫描,可用于获取样品表面的高分辨率形貌信息。
产品支持接触模式和轻敲模式,同时支持F-Z力曲线以及RMS-Z曲线测量。
S20系列的XY扫描范围为20×20 μm,样品台行程为20×20 mm;S50系列的XY扫描范围扩大至50×50 μm,样品台行程为30×30 mm。
根据产品参数表,S20T和S50T配置7英寸、1024×600触摸屏,可实现显微图像显示、光学照明亮度调节、激光光斑寻找探针、PSD光斑对中、样品台移动及样品趋近探针等功能;对应的N型号不配置该触摸屏。
Top Nano-Basic AFM 横向扫描分辨率为0.2 nm,纵向扫描分辨率为0.05 nm。
根据技术参数,样品蕞大直径为70 mm,蕞大厚度为20 mm。
如果测试样品所需扫描范围不大,可选择BASIC AFM-S20N或S20T;如果需要更大的扫描范围和样品台移动空间,可选择BASIC AFM-S50N或S50T。
如果希望直接通过设备上的触摸屏进行显微图像观察、PSD对中、样品移动及进针等操作,则可选择S20T或S50T型号。
Top Nano-Basic AFM 采用集成化扫描结构,结合纳米级扫描分辨率、智能自动进针、正视与侧视显微成像及弹簧悬挂防震设计,为微纳尺度表面形貌分析提供稳定可靠的原子力显微测量方案。
从纳米材料、薄膜与聚合物,到二维材料及微纳加工结构,可根据扫描范围和操作方式选择适合的BASIC AFM型号。
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上海昊量光电设备有限公司凭借强大的本地化销售网络与专业技术支持团队,长期服务于国内众多工业及科研客户,涵盖半导体、生物医疗、量子科技、精密制造、生物显微、物联传感、材料加工、光通讯等前沿领域。
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