背散射电子探测器
我司提供的背散射电子探测器（BSD）系统为扫描电子显微镜（SEM）中的 BSE 图像采集提供了完整的一站式解决方案。整个系统包含探测器、高速信号处理电子学以及可伸缩机械组件，可轻松安装于任何品牌的 SEM 中。
产品特点：
◆ 低噪声特性
低暗电流和低信号电容值确保了在低束流条件下对敏感样品进行低噪声成像，图像质量清晰。
◆ 超高检测速度
集成 4 通道前置放大器与低信号电容设计，实现超越 TV 帧率的超快成像，扫描速率高达 100 MHz。
◆ 低 keV 性能优异
持续优化的辐射入射窗口，在 500 eV – 3 keV 低能量范围内保持出色效率，并减少样品损伤。所有探测器窗口均耐辐射。
◆ 高收集效率
优化的芯片技术与几何设计带来更高的信号强度。几何收集效率高达 85%，实现高对比度和优异的信噪比。
◆ 短工作距离兼容
扁平铝制外壳设计，可在短工作距离下进行成像，灵活适配各类 SEM 腔室空间。
◆ 多样化几何配置
提供多种 BSD 二极管类型，可安装于标准或特定外壳中。支持不同芯片几何形状以适配各类应用场景。
◆ 完整系统方案
从探测器、前置放大器、定位系统到主放大器，提供交钥匙式完整 BSE 成像系统。
主要参数：
| 能量范围 | 0.5 – 50 keV |
| 低能优化窗口 | 500 eV – 3 keV |
| 扫描速率 | 100 MHz（像素驻留 10 ns） |
| 信号下降时间 | < 10 ns（Advanced模块） |
| 几何收集效率 | 达 80%（BSD-420），定制可达 85% |
| 探测器面积范围 | 40 – 420 mm²（标准），可定制 |
| 可用分段/环数 | 4 段 / 1–2 环，可定制 |
| 前置放大器 | 独立 4 通道（Standard）/ 集成 4 通道（Advanced） |
| 定位系统 | 手动伸缩臂 V1（快速）/ V2（高精度） |
| 主放大器 | MA-PN4 / MA-PN99 |
| 适配平台 | 各品牌 SEM（扫描电子显微镜） |
**具体型号规格可参考数据单，或详情咨询上海昊量光电设备有限公司。
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