上海昊量光电设备有限公司推出的微型振镜是一款体积紧凑的大镜面微型振镜。
该振镜促动器技术成熟的电磁驱动。单个镜面可提供二维光束偏转，镜面尺寸可达到15mm，该设备不仅可以提供较大的镜面尺寸，光学偏转角度更是可达到±50°该系统包含一个位置反馈系统，设备的整体分辨率可达到5urad。
此外还提供镜面尺寸为10mm的谐振镜，X轴谐振扫描，速度可达250Hz，光学偏角正负25°，Y轴静态可控偏转，光学偏角±50°，速度可达20Hz。
微型振镜Develop kits图片：
微型振镜OEM版本：
u 主要特点：
l 大的镜面尺寸
l 大的光学偏角最大可达+/- 50°
l 闭环控制精度可达5mrad
u 主要应用：
l 激光雷达
l 自动驾驶辅助系统
l 视觉（视场扩展、缩放）
l 计量生物学&诊断设备
l 3D打印
u 主要参数：
Actuator Type | 4-Quandrant (2 axis, bi-directional) | |
Mechanical tilt angle DC | ±25 X axis; ±25 Y axis | ° |
Mechanical tilt angle dynamic | ±25 X axis; ±25 Y axis | ° |
Mirror diameter | 15 | mm |
Center of rotation to mirror surface | 1.3 | mm |
External diameter | 30 | mm |
Zero drift | 25 | μrad/°C (Max) |
Resolution (closed loop) | <5 | μrad |
Repeatability RMS (typical) | 30-100 | μrad |
Full scale bandwidth Sine wave (+/-25°) | 20 | Hz |
Small signal bandwidth | 350 | Hz |
Large angle step response (20° step) | 7.5 | ms |
Small angle step response (0.1° step) | 1.4 | ms |
产品标签：微型振镜,闭环振镜,微振镜,大角度偏转镜,二维微振镜
