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可调谐光源 | 宽带光源

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DUV汞氙灯照明光源

  • DUV汞氙灯照明光源
汞-氙混合气体放电照明,可实现稳定的紫外线照明,无热漂移

所属类别:可调谐激光器 | 光源 » 可调谐光源 | 宽带光源

所属品牌:

产品负责人:

姓名:谷工(Givin)

电话:185 1625 1863(微信同号)

邮箱:zonghao-gu@auniontech.com

DUV汞氙灯照明光源


昊量光电新推出汞-氙混合气体放电紫外照明光源,因其高稳定直流电源驱动控制,而且没有热漂移,所以能提供稳定的紫外照明。它允许对灯泡、反射镜和集光器进行精确、可重复的调整,能实现很好的对准。非常适合用于晶圆检测、光学检查和光掩模分析,特别是用于检测精细的结构和线宽是否有错误和缺陷。


产品特点:

  • 无热漂移

  • 可重复的机械调节

  • 点火器集成在灯罩中

  • 紧凑的灯箱

  • 安全电路功能


应用领域:

  • 光罩的光学检查和分析用照明,特别是结构和线宽的错误或缺陷

  • 晶圆检测

  • 净化去污


无集光器灯罩lh-qx 100.60的深紫外光谱光谱


灯罩lh-qx-100.60
固定方式灯罩通过法兰或燕尾,灯头通过灯头适配器进行X、Y调节
点火装置集成高压点火装置
反射器X, Y, Z可调节反射镜
集光器Z轴可调节
安全符合EN 61010-1
设备防护等级I
防护等级IP 20 (EN 60529)
安全电路

镇流器 ebqx 100
特点控制100 W 汞氙灯泡
灯泡型号HAMAMATSU L8029-01,   L2422-01
灯泡连接M1 6+PE socket,   Schaltbau
安全安全电路,过温保护


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产品标签:汞氙灯,DUV光源,氙灯光源,汞氙灯光源,短弧氙灯,短弧汞氙灯