显微镜LED白光光源/固态光源多通道LED光源/固态多色光源高功率光纤耦合LED光源高功率光纤耦合LED白光源和单色光源470-700nm激光泵浦白光光源1.7MHz高速扫频光源XWS-30 激光驱动白光光源LDLS(190-2500nm)XWS-65激光驱动白光光源LDLS(190-2500nm)TLS120Xe 高功率可调谐光源TLS波长带宽可调谐激光器多端口光器件IL、PDL波长扫描快速测试系统5-6um, 5.7-7.4um, 6-7.4um, 7.3-10.5um,9.5-13um可调谐脉冲量子级联红外激光器50W 紫外半导体光刻光源(ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圆)5-13um可调谐脉冲量子级联红外激光器DUV汞氙灯照明光源高效率定制紫外倍频腔EQ-99X激光驱动白光光源LDLS30W高功率UV-LED紫外光源(多波段,ALE/1系列)DLP/DMD光刻照明光源Radiantis奥里亚(Oria Vis)飞秒红外-可见光SHG倍频器窄线宽激光器芯片及模块产品全自动生物医学照明系统15W光纤耦合紫外UV-LED点光源(ALE/3 系列)Santec HSL 高速扫频光源80W 紫外半导体光刻光源(ALE/2系列,12英寸晶圆)
所属类别:可调谐激光器 | 光源 » 可调谐光源 | 宽带光源
DUV汞氙灯照明光源
昊量光电新推出汞-氙混合气体放电紫外照明光源,因其高稳定直流电源驱动控制,而且没有热漂移,所以能提供稳定的紫外照明。它允许对灯泡、反射镜和集光器进行精确、可重复的调整,能实现很好的对准。非常适合用于晶圆检测、光学检查和光掩模分析,特别是用于检测精细的结构和线宽是否有错误和缺陷。
产品特点:
无热漂移
可重复的机械调节
点火器集成在灯罩中
紧凑的灯箱
安全电路功能
应用领域:
光罩的光学检查和分析用照明,特别是结构和线宽的错误或缺陷
晶圆检测
净化去污
无集光器灯罩lh-qx 100.60的深紫外光谱光谱
灯罩lh-qx-100.60 | |
固定方式 | 灯罩通过法兰或燕尾,灯头通过灯头适配器进行X、Y调节 |
点火装置 | 集成高压点火装置 |
反射器 | X, Y, Z可调节反射镜 |
集光器 | Z轴可调节 |
安全 | 符合EN 61010-1 |
设备防护等级 | I |
防护等级 | IP 20 (EN 60529) |
安全电路 | 有 |
镇流器 ebqx 100 | |
特点 | 控制100 W 汞氙灯泡 |
灯泡型号 | HAMAMATSU L8029-01, L2422-01 |
灯泡连接 | M1 6+PE socket, Schaltbau |
安全 | 安全电路,过温保护 |
产品标签:汞氙灯,DUV光源,氙灯光源,汞氙灯光源,短弧氙灯,短弧汞氙灯