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无掩模光刻系统

DMD无掩膜光刻机多光子聚合3D纳米光刻机桌面型纳米压印机 显示全部
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DMD无掩膜光刻机

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高速、低价格DMD式无掩膜光刻机

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产品负责人:

姓名:李工(William)

电话:156 1809 2363(微信同号)

邮箱:wentao-li@auniontech.com


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无掩膜光刻机SmartPrint


DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。


无论您需要什么图案——在微尺度上快速、轻松地完成


  


  尺寸:2um--25mm

  分辨率:低至0.7um

  厚度:可达100um

  形状:简单到复杂的几何形状







它是怎样工作的呢?




一个数字化掩膜图案从计算机发送到SmartPrint的投影头

一束明亮的光束透过一个µLCD阵列或DMD阵列反射

然后过滤并直接聚焦在光敏抗蚀剂上














应用领域:


                 光器件                                                      微流控                                        微电子


关键特性:

  • 直写分辨率低至1.5um

  • 可更换物镜调节直写区域和分辨率

  • 兼容CAD文件和位图图像

  • 兼容i, h和g线光敏电阻

  • 兼容多种基材(硅、玻璃、金属、塑料等)

  • 兼容任何样本大小,达到5英寸的方形掩模

  • 相机反馈准直


核心优势:

  • 由于没有硬掩膜版,节省了时间和成本

  • 直观的校准方法,设计图案直接覆盖在样品上

  • 桌面式小尺寸

  • 该技术非常适合微流体,2D材料,光电子,或任何其他二维微加工应用


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产品标签:DMD式无掩膜光刻机,无掩膜光刻机,无掩膜曝光机,Maskless Photo-Lithography,数字掩膜光刻机,激光直写