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精密定位平台 | 扫描台

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亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)

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高精度亚纳米压电平移台!

所属类别:位移台 | 偏转镜 | 旋转台 » 精密定位平台 | 扫描台

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产品负责人

姓名:谷工(Givin)

电话:185 1625 1863(微信同号)

邮箱:zonghao-gu@auniontech.com

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产品负责人

姓名:于工(Grin)

电话:131 2782 0466(微信同号)

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高精度亚纳米压电平移台


压电平移台是以压电陶瓷为驱动,以柔性铰链为导向,通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台,行程最大可达1500微米。采用硅高精度位移传感器闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,并且拥有低底噪。被广泛应用于,超分辨显微光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。 

昊量光电推出的压电平台按维度可以提供以下产品:

1)单轴压电平台

单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、一维快反镜

①X轴压电平台

一维平台可提供不同行程、中空/非中空等不同类型的产品

型号

AUHS1

AUHS1H

AUC-X.100

AULF1

AUSLR

产品图片


行程(μm)

10/30/50/70/100

30/50/70/100

100

100/200/300

300/500/8001500

分辨率(nm)

0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

0.03/0.05/0.07/0.1

0.1

0.1/0.2/0.3

0.3/0.5/0.8/1.5

重复精度(全行程)nm

0.02/0.06/0.1/0.14/0.2

0.06/0.1/0.14/0.2

0.2

0.2/0.4/0.6

0.6/1/1.6/3

本底噪声nm

0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

0.003/0.005/0.007/0.01

0.01

0.01/0.02/0.03

0.03/0.05/0.08/0.15

传感器

硅传感器闭环反馈

②Z轴压电平台

型号

Z-stage

C-Z.100

Z-insert

Z-insert-K-TYPE

Z-insert-INC

LT-Z

产品图片

行程(μm)

5/10/25/50

100

100/200/300/500

100/200/300

100/200/300/500

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.005/0.01/0.025/0.05

0.1

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3/0.5

重复精度(nm)

0.01/0.02/0.05/0.1

0.2

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6/1.0

本底噪声nm

0.0005/0.001/0.0025/0.005

0.01

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03/0.05

传感器

硅传感器闭环反馈

③物镜扫描台

型号

FOCHS.100

FOC

产品图片

行程(μm)

100

100/200/300

分辨率(nm)

0.1

0.1/0.2/0.3

全行程重复精度(nm)

0.2

0.2/0.4/0.6

本底噪声nm

0.01

0.01/0.02/0.03

传感器

硅传感器闭环反馈

④一维快反镜

型号

TT1.5

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重复精度(μrad)

0.01/0.02

本底噪声(μrad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈

2)两轴压电平台

两轴压电平台可提供两个维度的平移和偏转主要包括XY压电平台和二维快反镜

①XY压电平台

型号

LFHS2

LTHS2