Beck Optronic Solutions 反射式物镜采用双镜全反射光路。光线在镜面反射，不依靠光学玻璃的折射形成聚焦，因此物镜本身不引入色差，适合在同一光路中进行多波长显微成像，或以可见光辅助紫外、红外激光的对准。通过设计镜面曲率及间距，物镜校正球差、彗差和像散。
系列提供 5001、5002、5003、5004、5006、5007 六款标准型号，倍率为 15×–74×，数值孔径为 0.28–0.65。不同型号的工作距离、视场和中央遮拦比例各有侧重；镀膜决定实际可用波段。用户可按显微观察、光谱检测或激光光束传输任务选择型号与镀膜，并匹配镜筒长度、盖玻片及安装接口。
多波长共用反射光路：双镜设计不引入折射色差，便于可见光与紫外或红外光束共用聚焦、成像路径；系统中的窗口、盖玻片和其他光学元件仍需单独匹配。
六款倍率与孔径组合：5001 与 5002 同为 15×，分别提供 NA 0.28 和 0.50；5006 与 5007 提供 NA 0.65，适合需要较大数值孔径的高倍率光路。
为样品周边留出空间：5001 的工作距离为 24.5 mm，5002 为 23.2 mm，5003 为 14.5 mm。高倍率型号需结合样品支架和窗口位置检查间隙。
按工作波段选择镀膜：提供铝膜、DUV 增强铝膜、银膜与金膜。190 nm 起的深紫外配置采用 DUV 增强铝膜；标准铝膜用于低功率应用。
管长与盖玻片校正：5001–5003 按订货条件由工厂设定，5004、5006、5007 可由用户调节。非标准窗口材料、厚度或共轭条件可提出定制需求。
支撑臂与回返光选项：标准为三支撑臂次镜支架，可选四支撑臂；对回返光敏感的激光光路，可评估次镜消光凹坑或定制通孔方案。
反射式物镜由主镜、次镜及支撑结构组成。主镜与次镜的曲率、间距和对中状态共同影响成像质量。中央次镜及其支撑臂会遮拦部分光瞳，并影响衍射图样，因此选型时应同时考虑数值孔径、遮拦比例和入射光束条件。
标准安装接口为 RMS 螺纹，0.8″ × 36 TPI，Whitworth 牙型。镜筒外径、齐焦尺寸和法兰几何形状需按具体型号接口图核对；其他机械接口可提出定制需求。
| 镀膜与后缀 | 标称波段范围 | 原厂列示镜面反射率 |
|---|---|---|
| 标准铝膜 -000 | 250 nm–10 μm | 平均 89.0% |
| DUV 增强铝膜 -190 | 190 nm–10 μm | >89.0% |
| 银膜 -150 | 450 nm–20 μm | 至 2 μm：>97.0%；2–20 μm：>95.0% |
| 金膜 -120 | 700 nm–15 μm | 98.0% |
表中为原厂镀膜选型数据，反射率属于镜面镀膜，不是物镜整机透过率；也不应将表列数值解释为每个波长点的恒定保证值。单支物镜的可用波段取决于所选镀膜，190 nm–20 μm 为不同镀膜配置的范围组合。
深紫外任务应选 DUV 增强铝膜；涉及可见光及较长波红外覆盖时可评估银膜；红外与高功率任务可评估金膜或专用镀膜。高功率使用需提供波长、连续/脉冲方式、功率或脉冲能量、脉宽及光斑条件，由原厂确认镀膜适配与损伤边界。标准铝膜仅用于低功率应用。
三支撑臂为标准配置，产生六向衍射光晕；四支撑臂为选配，产生四向光晕，但总衍射能量增加。选择应依据成像背景、衍射图样和激光光路要求，不能仅按光晕方向数量判断性能。
| 配置项目 | 订货表示或要求 |
|---|---|
| 基础型号＋镀膜 | 例如 5004-120：36× 物镜、金膜；5006-150：52× 物镜、银膜 |
| 四支撑臂 | 镀膜后缀末尾增加 4；例如 5004-1204 |
| 次镜消光凹坑 | 增加 -D 后缀，用于评估回返光抑制需求 |
| 次镜通孔 | 定制讨论，不属于标准选项 |
| 非标准条件 | 可提出特殊镀膜、窗口校正、共轭条件、机械接口或高于 74× 倍率的定制需求 |
多波长显微与双波长对准：利用反射光路不引入色差的特点，以可见光辅助紫外或红外激光的对准；实际光路仍需检查窗口及其他光学元件的波段适配。
FTIR 与拉曼显微光谱：用于显微光谱系统的光束聚焦与信号收集，按测量波段选择镀膜，并结合数值孔径、视场和遮拦比例配置光路。
紫外计量与半导体检测：用于紫外显微、晶圆及光掩模检测、紫外与深紫外光刻等任务；深紫外配置需匹配增强铝膜及相关光学元件。
激光加工与光束传输：用于激光钻孔、蚀刻、产品打标和泵浦光路，选型时同时评估入射光束、回返光、工作距离及镀膜功率适配。
热成像与材料显微：用于热成像显微、材料及法证显微分析；按探测器波段、后续成像光路和样品安装空间选择物镜。
其他显微测量：原厂列出的用途还包括双光子显微、显微摄影和薄膜测量，具体适配取决于激发/检测波长、样品条件与系统结构。
不能将不同镀膜的边界合并为单一配置能力。DUV 增强铝膜标称为 190 nm–10 μm，银膜标称为 450 nm–20 μm，金膜为 700 nm–15 μm；需先确定实际工作波段，再选择镀膜。
全反射物镜本身不引入折射色差，但盖玻片、真空窗口、后续透镜及系统共轭条件仍会影响焦点与像质。跨波段使用时，应按完整系统评估，不能以物镜无色差替代系统校正。
不是。到样品的能量还受两次镜面反射、中央遮拦、支撑臂、光瞳填充、入射光束分布和其他元件影响。应提供波长、光束直径及分布等条件，评估具体配置的传输效率。
先检查 15× 或 25× 型号是否满足倍率与数值孔径需求。5006、5007 虽提供 NA 0.65，但工作距离较短。保留前端遮光结构并结合实际装配核对间隙，不将拆除遮光部件作为常规增距方案。
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