显微镜LED白光光源/固态光源多通道LED光源/固态多色光源高功率光纤耦合LED光源高功率光纤耦合LED白光源和单色光源470-700nm激光泵浦白光光源1.7MHz高速扫频光源XWS-30 激光驱动白光光源LDLS(190-2500nm)XWS-65激光驱动白光光源LDLS(190-2500nm)TLS120Xe 高功率可调谐光源TLS波长带宽可调谐激光器5-6um, 5.7-7.4um, 6-7.4um, 7.3-10.5um,9.5-13um可调谐脉冲量子级联红外激光器50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圆)5-13um可调谐脉冲量子级联红外激光器EQ-99X激光驱动白光光源LDLS30W高功率紫外UV-LED点光源(多波段,ALE/1系列)DLP/DMD光刻照明光源Radiantis奥里亚(Oria Vis)飞秒红外-可见光SHG倍频器窄线宽激光器芯片及模块产品全自动生物医学照明系统15W光纤耦合紫外UV-LED点光源(ALE/3 系列)Santec HSL 高速扫频光源70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圆)
所属类别:可调谐激光器 | 光源 » 可调谐光源 | 宽带光源
50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圆)
---多适用于半导体光刻领域
ALE/1C大功率UV-LED光源是一款强大的紫外LED点光源,输出功率可达到50W,用于驱动高性能工业紫外曝光工具。ALE/1C这款大功率UV-LED光源通常适用于6英寸(150mm)和8英寸(200mm)晶圆和宽带晶圆步进系统(1x步进器和Mini 步进器)的自动和半自动化掩膜对准器。它采用UV-LED技术,具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制,优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力,不产生那么多的热量,持续时间更长,并且需要较少的整体维护。
我们的ALE/1C大功率紫外UV-LED光源,奉行多功能利用原则,将产品打造为可集成3个波段的UV-LED曝光光源。大多数情况下,都是i线(365nm), h线(405nm)和g线(435nm),辐射的功率超过传统的1000W放电汞灯,关键我们的产品还是纯“绿色"光源,无毒害危险。
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源应用场景:
光固化应用 | 半导体光刻领域 | 其他应用 |
1、高密度紫外固化(工业) | 1、晶圆曝光机系统 | 1、高功率紫外成像 |
2、多点、大区域固化 | 2、宽带晶圆步进系统 | 2、高辐射应用等 |
3、掩膜对准器 |
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源主要特点:
高达50W的宽带曝光(350-450nm);
内置解决方案实现高效率和性能;
闭环控制输出,确保实现过程稳定性;
分布式设计,产品紧凑易于集成;
高品质保证,维护成本低;
ALE/1C 紫外LED曝光光源分布式模块设计展现:
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源性能图谱展示:
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源规格参数:
发光单元选项 | 通常365nm,405nm,435nm, | 也可在365-970nm范围选择 发射器的中心波长(CWL):367.5±2.5 nm、402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm |
总辐射功率 | 高达40W (50W时选装外部冷却器) | |
输出光强度 | 高达100,000mW/cm2 | |
数值孔径 | 可变,取决于聚光器件 | |
控制配置 | 1、独立的电源管理和预设; 2、高精度光强调整(20%-100%); 3、LED上升时间约为1ms; 4、通过内部和外部信号连续监控光输出和反馈控制; | |
通信接口 | 1、USB: ALE/远程 (ALE PC软件); 2、PLC: 离散接口; 3、现场总线:根据客户要求(例如CANopen,PROFINET) | |
热管理 | 1、内部液体冷却; 2、外部冷却(可选),用于提高至50W输出功率; | |
尺寸 | 1、ESS: 20 cm X 13 cm X 20.5 cm (7.9″ X 5.1″ X 8.1″) 2、CSS: 20 cm X 15 cm X 45 cm (7.9″ X 5.9″ X 17.7″) 3、CSS (机架): 44 cm X 18 cm X 37 cm (17.3″ X 7.1″ X 14.6″) | |
重量 | 1、ESS: 5 kg (11 lbs) 2、CSS: 9 kg (20 lbs) 3、CSS (机架): 10 kg (22 lbs) | |
输入电源 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W | |
光导选择 | 1、六角形、方形和圆形光导管(即Ø6.5 mm和Ø8.0mm ) 2、定制聚光器或聚焦光学器件 |
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产品标签:365nm UV-LED,UV LED,紫外LED光源,405nm UV-LED光源, 435nm紫外光源,大功率UV LED,UV-LED曝光光源