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显微镜LED白光光源/固态光源多通道LED光源/固态多色光源高功率光纤耦合LED光源高功率光纤耦合LED白光源和单色光源470-700nm激光泵浦白光光源1.7MHz高速扫频光源XWS-30 激光驱动白光光源LDLS(190-2500nm)XWS-65激光驱动白光光源LDLS(190-2500nm)TLS120Xe 高功率可调谐光源TLS波长带宽可调谐激光器5-6um, 5.7-7.4um, 6-7.4um, 7.3-10.5um,9.5-13um可调谐脉冲量子级联红外激光器50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圆)5-13um可调谐脉冲量子级联红外激光器EQ-99X激光驱动白光光源LDLS30W高功率紫外UV-LED点光源(多波段,ALE/1系列)DLP/DMD光刻照明光源Radiantis奥里亚(Oria Vis)飞秒红外-可见光SHG倍频器窄线宽激光器芯片及模块产品全自动生物医学照明系统15W光纤耦合紫外UV-LED点光源(ALE/3 系列)Santec HSL 高速扫频光源70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圆) 显示全部
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50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圆)

  • 50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C,   6英寸和8英寸晶圆)
  • 50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C,   6英寸和8英寸晶圆)
高达50W大功率紫外UV-LED曝光光源,适用于6英寸和8英寸基板的曝光!

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产品负责人:

姓名:步工(Bland)

电话:186 2112 8645(微信同号)

邮箱:yuanshou-bu@auniontech.com

50W 大功率紫外UV-LED曝光光源(ALE/1C,   6英寸和8英寸晶圆)

---多适用于半导体光刻领域


ALE/1C大功率UV-LED光源是一款强大的紫外LED点光源,输出功率可达到50W,用于驱动高性能工业紫外曝光工具。ALE/1C这款大功率UV-LED光源通常适用于6英寸(150mm)和8英寸(200mm)晶圆和宽带晶圆步进系统(1x步进器和Mini 步进器)的自动和半自动化掩膜对准器。它采用UV-LED技术,具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制,优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力,不产生那么多的热量,持续时间更长,并且需要较少的整体维护。


我们的ALE/1C大功率紫外UV-LED光源,奉行多功能利用原则,将产品打造为可集成3个波段的UV-LED曝光光源。大多数情况下,都是i线(365nm), h线(405nm)和g线(435nm),辐射的功率超过传统的1000W放电汞灯,关键我们的产品还是纯“绿色"光源,无毒害危险。


ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源应用场

光固化应用
半导体光刻领域
其他应用
1、高密度紫外固化(工业)1、晶圆曝光机系统1、高功率紫外成像
2、多点、大区域固化2、宽带晶圆步进系统2、高辐射应用等

3、掩膜对准器


  


ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源主要特点:

  • 高达50W的宽带曝光(350-450nm);

  • 内置解决方案实现高效率和性能;

  • 闭环控制输出,确保实现过程稳定性;

  • 分布式设计,产品紧凑易于集成;

  • 高品质保证,维护成本低;


ALE/1C 紫外LED曝光光源分布式模块设计展现:


ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源性能图谱展示:



ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源规格参数:


发光单元选项通常365nm,405nm,435nm,

也可在365-970nm范围选择

发射器的中心波长(CWL):367.5±2.5 nm、402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm

辐射功率高达40W (50W时选装外部冷却器)
输出光强度高达100,000mW/cm2
数值孔径可变,取决于聚光器件
控制配置

1、独立的电源管理和预设;

2、高精度光强调整(20%-100%);

3、LED上升时间约为1ms;

4、通过内部和外部信号连续监控光输出和反馈控制;


通信接口

1、USB: ALE/远程 (ALE PC软件);

2、PLC: 离散接口;

3、现场总线:根据客户要求(例如CANopen,PROFINET)


热管理

1、内部液体冷却;

2、外部冷却(可选),用于提高至50W输出功率;


尺寸

1、ESS: 20 cm X 13 cm X 20.5 cm (7.9″ X 5.1″ X 8.1″)

2、CSS: 20 cm X 15 cm X 45 cm (7.9″ X 5.9″ X 17.7″)

3、CSS (机架): 44 cm X 18 cm X 37 cm (17.3″ X 7.1″ X 14.6″)


重量

1、ESS: 5 kg (11 lbs)

2、CSS: 9 kg (20 lbs)

3、CSS (机架): 10 kg (22 lbs)


输入电源
110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W
光导选择

1、六角形、方形和圆形光导管(即Ø6.5 mm和Ø8.0mm

2、定制聚光器或聚焦光学器件







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产品标签:365nm UV-LED,UV LED,紫外LED光源,405nm UV-LED光源, 435nm紫外光源,大功率UV LED,UV-LED曝光光源