50W 大功率紫外UV-LED曝光光源（ALE/1C, 6英寸和8英寸晶圆）
---多适用于半导体光刻领域
ALE/1C大功率UV-LED光源是一款强大的紫外LED点光源，输出功率可达到50W,用于驱动高性能工业紫外曝光工具。ALE/1C这款大功率UV-LED光源通常适用于6英寸（150mm）和8英寸（200mm）晶圆和宽带晶圆步进系统（1x步进器和Mini 步进器）的自动和半自动化掩膜对准器。它采用UV-LED技术，具有出色的输出稳定性和灵活的光谱控制，优于传统的高压汞放电灯。它还消耗更少的电力，不产生那么多的热量，持续时间更长，并且需要较少的整体维护。
我们的ALE/1C大功率紫外UV-LED光源，奉行多功能利用原则，将产品打造为可集成3个波段的UV-LED曝光光源。大多数情况下，都是i线（365nm), h线（405nm）和g线（435nm)，辐射的功率超过传统的1000W放电汞灯，关键我们的产品还是纯“绿色"光源,无毒害危险。
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源应用场景：
| 光固化应用 | 半导体光刻领域 | 其他应用 |
| 1、高密度紫外固化（工业） | 1、晶圆曝光机系统 | 1、高功率紫外成像 |
| 2、多点、大区域固化 | 2、宽带晶圆步进系统 | 2、高辐射应用等 |
| 3、掩膜对准器 |
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源主要特点：
高达50W的宽带曝光（350-450nm）;
内置解决方案实现高效率和性能；
闭环控制输出，确保实现过程稳定性；
分布式设计，产品紧凑易于集成；
高品质保证，维护成本低；
ALE/1C 紫外LED曝光光源分布式模块设计展现：
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源性能图谱展示：
ALE/1C大功率紫外UV-LED曝光光源规格参数：
| 发光单元选项 | 通常365nm,405nm，435nm, | 也可在365-970nm范围选择 发射器的中心波长（CWL)：367.5±2.5 nm、402.5±2.5 nm和435.0±2.5 nm |
| 总辐射功率 | 高达40W (50W时选装外部冷却器) | |
| 输出光强度 | 高达100,000mW/cm2 | |
| 数值孔径 | 可变，取决于聚光器件 | |
| 控制配置 | 1、独立的电源管理和预设； 2、高精度光强调整（20%-100%); 3、LED上升时间约为1ms; 4、通过内部和外部信号连续监控光输出和反馈控制； | |
| 通信接口 | 1、USB: ALE/远程 （ALE PC软件）； 2、PLC: 离散接口； 3、现场总线：根据客户要求（例如CANopen，PROFINET） | |
| 热管理 | 1、内部液体冷却； 2、外部冷却（可选），用于提高至50W输出功率； | |
| 尺寸 | 1、ESS: 20 cm X 13 cm X 20.5 cm (7.9″ X 5.1″ X 8.1″) 2、CSS: 20 cm X 15 cm X 45 cm (7.9″ X 5.9″ X 17.7″) 3、CSS (机架): 44 cm X 18 cm X 37 cm (17.3″ X 7.1″ X 14.6″) | |
| 重量 | 1、ESS: 5 kg (11 lbs) 2、CSS: 9 kg (20 lbs) 3、CSS (机架): 10 kg (22 lbs) | |
| 输入电源 | 110-240 VAC / 50-60 Hz / 1,000 W | |
| 光导选择 | 1、六角形、方形和圆形光导管（即Ø6.5 mm和Ø8.0mm ） 2、定制聚光器或聚焦光学器件 |
产品标签：365nm UV-LED,UV LED,紫外LED光源,405nm UV-LED光源, 435nm紫外光源,大功率UV LED,UV-LED曝光光源
