位置敏感探测器（Position Sensitive Detector，PSD）是基于PN结横向光电效应的一种光电探测器，以其小体积，高分辨率和快响应速度等优点在各领域广泛使用。
基于横向光电效应的位敏探测器
位置敏感探测器（Position Sensitive Detector，PSD）作为一种光电位置探测器，能够将照射到光敏面的光电流信号转变为电压信号，随后通过放大电路计算之后得到入射光的光斑位置，而且得到的位置信息与光斑强度、尺寸、分布以及对称性无关。
PSD的主要原理如下图所示，其工作基于PN结的横向光电效应，当PN结的P侧受到了光的照射，照射点附近就会因为光的激发而产生大量的电子—空穴对，I层具有较大的阻值，同时空穴的迁移率高于电子，这就导致多余的电子只能像两侧移动，由于电子带负电，所以出现了照射点附近带正电而两侧带负电的情况。又因为P层阻值均匀，故我们可以根据两侧的电压值来判断实际光斑位置，将PN结和运算电路相组合就构成了我们熟悉的一维PSD。
二维PSD的工作原理与一维PSD相同，其共有四个电极，如下图所示，可以用于分辨光斑在二维空间的位置。常见的二维PSD可以根据电极和光敏面的位置分为方形，枕形和双面形。
当光斑落到PSD的感光面上，四个电极就会因为横向光电效应在四个方向上出现光电流，随后根据下面的式子就可以求出光斑的质心位置。
PSD的性能主要体现光谱响应，灵敏度，分辨率，线性度等。
PSD的光谱响应取决于芯片的材料，以zui常见的以硅为感光面的PSD而言，其响应波段一般在320nm~1100nm；芯片灵敏度指的是PSD的输出电流和入射激光功率比值，其与激光波长也有关，一般在0.6A/W左右；位置分辨率代表了zui小可探测的光斑位置变化量，主要受到器件尺寸和信噪比的影响，一般PSD的尺寸越小，分辨率越高；线性度指的PSD输出的位置和实际光斑位置之间的线性关系，一般用均方根非线性误差来表示。
来自德国TEM公司的PSD可以实现亚微米量级的光斑质心检测，若光斑较小甚至可以实现百纳米级别的探测精度，zui高采样频率可达15Khz，进行高精度和高实时性探测！根据需求定制不同款的PSD，响应波段可达180nm至2.6um。通过TEM公司独有的算法，实现芯片的极高线性度，搭配上快速反射镜和控制器，能够将光束稳定在亚微米和亚微弧度范围。此外，还可以通过软件控制快反镜的移动，实现高精度的光斑位置控制，在自由空间光耦合，非接触式测距，光谱分析仪，三位机器视觉等系统中发挥重要作用。
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