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精密定位平台 | 显微载物台

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高精度垂直压电位移台

  • 高精度垂直压电位移台
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XVS系列与XVP系列​​高精度纳米级垂直定位台(Z轴位移台)。

所属类别:位移台 | 偏转镜 | 旋转台 » 精密定位平台 | 显微载物台

所属品牌:昊量光电

北方负责人

姓名:刘工(Mario)

电话: 131 2285 6820(微信同号)

邮箱:zhanshuo-liu@auniontech.com

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南方负责人

姓名:于工(Grin)

电话: 131 2782 0466(微信同号)

邮箱:huaijian-yu@auniontech.com

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高精度垂直压电位移台


XVS系列高精度纳米级垂直定位台采用单Crossfixx™超声压电电机驱动,适用于光学对准真空腔体精密定位。

XVP系列工业级高负载垂直定位台采用双Crossfixx™超声压电电机并联,负载2.5kg,适用于重型装配、高速检测等场


XVS系列垂直位移台核心参数表

型号

行程范围 (mm)

驱动力(N)

分辨率 (nm)

重复精度 (nm)

速度(max)(mm/s)

XVS-1-40

25(SC版30)

1

1250/312/78/5

±80(单向) / ±160(双向)

100(真空50)

XVS-3-40

25(SC版30)

3

XVS-3-60

40(SC版48)

3

XVS-3-80

50(SC版69)

3

50(真空25)

环境使用要求

工作温度-30℃~+70℃

湿度要求20%-90% RH


XVS系列垂直位移台

·定位:高精度纳米级垂直定位平台,为轻载精密应用设计。

·核心特点:

·采用单Crossfixx™超声压电电机,实现无振动、静音操作。

·断电自锁功能,断电后仍保持位置稳定。

·可选质量补偿模块(MC1-MC4),负载能力提升至350g。

·兼容HV/UHV真空环境,热耗散<5W,适合稳定纳米定位。


XPS系列垂直位移台核心参数表

型号

行程范围 (mm)

驱动力(min)(N)

分辨率 (nm)

重复精度 (nm)

速度(max)(mm/s)

XVP-80

10

15

1250/312/78/5

±50(双向) /±2500(双向)


50/100

环境使用要求

工作温度-30℃~+70℃

湿度要求20%-90% RH


XPS系列垂直位移台

·定位:高负载、高速垂直运动平台。

·核心特点:

·双Crossfixx™电机并联,驱动力达15 N(保持力30 N),负载能力2.5 kg。

·12V低电压驱动,适合嵌入式系统集成。

·可选低磁/非磁轴承(-LM/-NM),减少磁场干扰。



关键选型建议:

5nm分辨率型号必须搭配XD-M控制器

UHV版本需指定无护套电缆和特殊连接器

超过100g负载建议采用MC1-4补偿方案

·需纳米级定位:选择XVS-3-40-5-HV(5 nm分辨率,25 mm行程)。

·需高速大负载:选择XVP-80-1250(1250 nm分辨率,1000 mm/s速度)


应用场景

·光学系统校准

·真空环境应用

·生物样本操作

·生产线高速检测
1000 mm/s扫描速度实现PCB板缺陷快速筛查。

·重型装配
机器人末端执行器搬运2.5 kg光学元件(双电机30N保持力防滑落)。

·医疗设备驱动

手术机械臂的垂直进给(12V低压安全驱动,非磁轴承避免MRI干扰)


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