智能多边形扫描仪（多面转镜）
智能多边形扫描仪是一种高效的激光加工设备，它通过高速旋转的多边形镜实现光束的超快速偏转。该设备能够达到10000至100000转/秒的偏转速度，并结合F-theta光学元件，实现超过1000米/秒的工作平面扫描速度。MOEWE公司的智能多边形扫描仪特别采用了双多边形轮技术，光束反射两次（如下图）。这一设计不仅避免了扫描场的系统性畸变，还减少了背反射和光学支点移动，从而提高了扫描的精度和稳定性。
智能多边形扫描仪具备实时偏转器和运动跟踪功能，能够在5纳秒内完成速度向量的记录和位置校正，确保在移动物体上进行精确的激光加工。此外，它还能同步多个扫描仪，通过精确控制旋转频率和相位位置，实现激光源的充分利用，可达60%的激光利用率。
智能多边形扫描仪的控制核心包括一个集成的FPGA和两个ARM处理器，这种全数字化的控制方案允许实时补偿制造偏差和环境影响，以达到更高的加工精度。设备还能够实时切片3D实体模型，适用于2D、2.5D和3D的超高速加工。其30毫米的大孔径设计支持超过1000瓦的平均激光功率，同时在工作平面上实现小焦点尺寸，满足高精度加工的需求。
智能多边形扫描仪是一台集高速、高精度、多功能于一体的激光扫描设备，适用于各种高速激光加工应用，包括但不限于材料加工、激光雷达、检测成像等领域。
Moewe多面镜超高速激光扫描头PM600（转镜系统）
MOEWE多面镜扫描头(PM系列)设计用于高功率超快激光加工。该系统为二维光束偏转单元，可进行2D、2.5D和3D加工。MOEWE高端PM系列扫描头具有30毫米的通光孔径和实时机载数据处理功能，可以在前所未有的高吞吐量上实现超高精度的宏观与微观加工。
多面镜扫描头(Polygon Mirror scanner)在半导体行业的应用
晶圆划线：更好的热效应表现&更小的切割道，更高的良率
薄硅片切割：要求高精度品质的晶片切割，目前方法（钻石刀具和传统激光）无法比拟的方案
高精度钻孔：适用于各种材料的微钻孔加工（硬陶瓷、聚合物或透明材料）
选择性移除：从微米到纳米的薄层去除——不影响相邻层
主要特点
高达30=mm的入光孔径
适用于功率高达5kW的连续激光
在整个扫描范围内都可以实现超高的扫描速度 (无加速度损耗)
全数字、FPGA板载数据处理
适用于Bitmaps、矢量图形、STL文件
实时激光控制，可实现超高的精度
主要优势
二维光束偏转装置，可以单独使用或与设备集成 (实现轴、卷对卷等加工)
多个数字和模拟I/OI接口、以太网通信、编码和过程控制
应用：激光标刻、微纳结构、表面清洁、打孔、切割、表面结构 (2.5D)、点焊、增材制造 (3D)等
选配项目
物镜
可拆卸及更换物镜 (标准或定制物镜)
167、255、420 mm等规格平场透镜
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上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
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