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精密定位平台 | 显微载物台

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微型线性压电位移台

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微型线性压电位移台

所属类别:位移台 | 偏转镜 | 旋转台 » 精密定位平台 | 显微载物台

所属品牌:昊量光电

产品负责人

姓名:刘工(Mario)

电话: 131 2285 6820(微信同号)

邮箱:zhanshuo-liu@auniontech.com

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产品负责人

姓名:于工(Grin)

电话: 131 2782 0466(微信同号)

邮箱:huaijian-yu@auniontech.com

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微型线性压电位移台


Xeryon的XLA系列(XLA-1/3/5/10)凭借其超紧凑设计、纳米级精度、高速度和Crossfixx™超声波压电驱动技术,在多个高精度运动控制领域具有优势。


XLA系列核心参数-运动控制的突破

型号

行程范围 (mm)

驱动力(N)

分辨率 (nm)

重复精度 (nm)

速度(max)(mm/s)

XLA-1

5-305

1

78/312/1250(闭环) / 20-50μm(开环)

±80(单向) / ±160(双向)

5.5-17.5

XLA-3

10-290

3

35.8-60

XLA-5

10-290

5

XLA-10

10-285

10

54.9-85.6

环境使用要求

工作温度-30℃~+70℃

湿度要求20%-90% RH


选型建议

·高精度需求:优先选择XLA-1或XLA-3(分辨率达78nm,双向重复精度±160nm)。

·大负载应用:选择XLA-10(驱动力10N,保持力10N)。

·紧凑设计:XLA-1(仅5.4mm厚度)适合空间受限场

·高速运动:开环版本均支持1000mm/s。


控制器兼容性

·所有型号均支持以下控制方式:

·Windows图形界面

·LabVIEW/Matlab脚本

·C++/Python库

注:闭环版本需搭配专用控制器(XD-OEM/XD-A),开环版本内置控制器。


应用场景

1. 半导体与光刻设备

·光刻机精密对准
XLA-10的高分辨率(78nm)和双向重复精度(±160nm)适合晶圆台的微米级定位。(如ASML光刻机中的掩模版调整)

·晶圆检测设备:
XLA-5的快速响应(点对点定位时间25ms)用于自动对焦和扫描平台。

·优势

·无磁干扰

·耐真空兼容(可选HV版本)


2. 生命科学与医疗设备

·共聚焦显微镜

·微创手术机器人


3. 光学与光子学

·自适应光学系统

·激光加工设备

·技术亮点

·无振动运动(超声波电机)
·支持LabVIEW/Python控制(快速集成)


4.工业自动化与检测


5.科研与定制化仪器

·低温实验环境

·真空腔


6.新兴技术领域

·AR/VR光学模组

·生物打印




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