上海昊量推出的物镜扫描台采用压电陶瓷直推，以柔性铰链为导向使物镜扫描台具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点，采用硅位移传感器，物镜扫描台相比于传统的电容式位移传感器，物镜扫描台硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。物镜扫描台的精度可以达到亚纳米，底噪低至10pm。
上海昊量光电设备有限公司推出的压电平移台旨在满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动，以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器，与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和低底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点，被广泛的应用于超分辨率显微镜，光学捕获和原子力显微镜等领域。
AU-FOCHS采用管状设计，专门用于显微镜物镜快速高精度定位。该物镜扫描台可提供行程可达到100μm，精度可达到0.1 nm，谐振频率可达到1175Hz。它由铝、钢和黄铜构成，配备硅传感器，可提供皮米级的稳定性。以上优点使其拥有广泛的应用，例如，激光加工、显微成像、体容积成像，等还可以与相机系统结合使用实现自动对焦。
AU-FOC是一款专门用于显微镜物镜准确定位的设备。该物镜扫描台可提供100/200/300/500μm不同行程。该物镜扫描台由铝和黄铜构成，结合硅传感器可提供皮米量级的稳定性。
以上两款物镜扫描台的黄铜安装环可以轻松更换，因此几乎所有的物镜都可以与这两款物镜扫描台结合使用。可用的物镜大小有RMS, M25, M26, M27 和 M32.
显微镜物镜扫描台产品特点：
l 高分辨率（0.01nm）
l 高速度，谐振频率可达1175Hz
l 采用硅传感技术
l 超低底噪
l 柔性铰链导向
显微镜物镜扫描台主要应用：
l 自动聚焦系统
l 共焦显微镜
l 3D成像
l 超分辨显微镜
l 半导体计量学
显微镜物镜扫描台产品参数：
Unit | AU-FOC | AU-FOCHS | ||||
Range of motion | mm | 100 | 200 | 300 | 500 | 100 |
Resolution | nm | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.5 | 0.1 |
Typical noise floor | nm | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.05 | 0.01 |
Full range repeatability | nm | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 1.0 | 0.2 |
Linearization (typical) | 0.02% | |||||
Resonant frequency | Hz | 500 | 350 | 250 | 200 | 1175 |
Stiffness | N/mm | 0.6 | 0.4 | 0.3 | 0.25 | 3.5 |
Maximum load : | ||||||
horizontal use | Kg | 0.5 | ||||
vertical use | Kg | 0.5 | ||||
Sensor | Silicon HR sensor | |||||
Material | Al | |||||
Cable length | m | 2 | ||||
Controller | standard | High speed | ||||
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ALIO Industries 蕞近发布了高精度聚焦平台 AI-VC-600-Z-SCB，它在超分辨率显微镜、原子力显微镜、表面计量以及工业制造和检测应用等应用中至关重要。精密聚焦台提供纳米级分辨率和极快的毫秒范围响应。
ALIO 的 AI-VC-600-Z-SCB 高精度聚焦台在此类应用中使用时，可提供闭环精度和极快的响应，以实现亚原子分辨率，这在高分辨率显微镜中至关重要。结果是以更快的速度获得更高质量的图像。AI-VC-600-Z-SCB在6 mm的行程和500g的有效载荷下，可以实现4G 100% S曲线峰值加速度（相当于2G梯形加速度）和300mm/sec，5nm分辨率，可以实现通过将速度能力降低到 30 毫米/秒来实现 1 纳米分辨率。
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