本文介绍在位移台技术文档和使用中都会使用的术语，并解释其含义。以便于读者更好的理解相关文章对位移台的表述。
位移台术语
传感器分辨率 Sensor resolution
术语传感器分辨率表示位置传感器可检测的最小量。该值是位移台分辨率的下限。
传感器分辨率也称为传感器灵敏度。
传感器精度 Sensor accuracy
位置传感器的精度表示相对于已校准、可计量溯源的标准的绝对偏差。传感器精度不一定与传感器分辨率有关。
传感器不准确主要是由传感器标尺的不完善和传感器标尺相对于运动轴的对准误差引起的。
传感器精度误差在很大程度上是重复性的，可以通过线性校准查找表（LUT）进行补偿。
载物台分辨率 Stage resolution
载物台分辨率定义为压电定位载物台的最小受控机械位移。由于我们的压电平台在大多数情况下都使用超声波压电技术与专用驱动器相结合，因此术语分辨率始终是指平台的闭环分辨率。因此，分辨率受传感器分辨率、机械影响（摩擦、可塑性、接触点非线性...）和位置控制性能的影响。该值是载物台重复性的下限。
载物台分辨率的其他术语表达是最小步长minimal step size或最小增量运动minimal incremental motion (MIM)。
载物台重复性 Stage repeatability
重复性定义为在相同条件下将载物台重复命令到一个特定位置时所获得的位置范围。
单向可重复性（Unidirectional repeatability）：载物台总是从同一个先前定义的点返回给定点的能力，。这个值特指许多次移动到同一点的偏移量的标准差。
双向可重复性（Bidirectional repeatability）：载物台从前一个随机点返回给定点的能力。这个值特指从随机方向运动到同一点的许多次移动的偏移量的标准差。
除非另有说明，否则网站上给出的值均表示双向可重复性。
载物台精度 Stage accuracy
载物台精度与传感器精度直接相关。由于我们平台的直接驱动原理以及位置传感器和安装表面之间的微小距离产生微小误差而带来的。
准确度与可重复性 Accuracy vs. repeatability
准确度是载物台与实际（真实）值的接近程度。可重复性是衡量平台多次定位到相同目标值的能力。重要的是要了解准确度和可重复性是定位系统的两个不同属性。
在许多应用中，运动系统的可重复性比精度更重要。系统误差可以计算和补偿，但重复性是所有补偿后达到的极限。
准确性也称为真实性。可重复性的其他术语是再现性（reproducibility ）或最大精度（- slightly confusing - precision）。
旋转台的误差运动 Error motion of a rotation stage
根据 ANSI/ASME B89.3.4 标准，旋转台旋转轴的误差运动定义为完美工件表面相对于参考坐标轴的位置变化，作为旋转角度的函数，工件中心线与旋转轴重合。
换言之，旋转台理想状态具有一个自由度，即围绕z轴旋转。然而，由于不存在完美的旋转台，其余五个自由度中的任何运动都称为旋转轴误差运动。根据误差方向，可以区分两个径向贡献、一个轴向贡献和两个倾斜或摆动贡献。此外，平台的误差运动可以分为同步和异步分量。平台的误差运动通常被错误地称为平台偏斜（stage runout）。
线性载物台的误差运动 Error motion of a linear stage
线性载物台的误差运动是不期望的运动，作为载物台位置的函数，在除运动方向之外的所有五个自由度上。水平面的误差运动称为直线度误差，垂直面的误差称为平面度误差。不同正交方向上的角误差运动分量称为俯仰、滚动和偏航。
线性载物台误差运动的另一个术语是载物台移动误差（stage guiding error）或行程误差（ travel error）。
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