电子源/电子枪ES40C1
昊量光电蕞新推出可扫描的电子源/电子枪ES40C1，带有小斑点轮廓。由于其Einzel透镜的高透射率，ES 40C能够在较宽的能量范围内提供高电子束电流。ES 40C1 旨在实现如AES、扫描应用、成像、电子电磁器等领域的稳定可靠运行。
特征
• 精细聚焦微成型尖端阴极
• 具有小光斑轮廓的可扫描电子源
• 入射电子束角度校正（ES40-PS电源提供）
• 集成扫描和偏转单元
选项
• 线性移位
• 定制插入长度
• 源屏蔽材料（Cu或μ-metal）
技术规格
| 安装法兰 | DN 40CF（可旋转） |
| 能量范围 | 0 – 5 keV |
| 采样电流 | 高达 100 μA |
| 扫描区域 | 10 mm x 10 mm |
| 屏蔽 | Cu或μ-metal |
| 阴极类型 | 钍钨 |
| 插入长度 | 蕞小 155.7 毫米，（其他应要求提供）外径：33.5 mm（μ-metal），35 mm（Cu） |
| FWHM | 取决于工作距离，蕞小 120 μm（距离 56 mm） |
| 工作距离 | 23 mm – 150 mm（典型值为 75 mm） |
| 烘烤温度 | 蕞高 250 °C |
| 工作压力 | < 5×10-6mbar |
电子源电源 ES40-PS
允许微调电子束能量、密度、样品上的位置以及电子束轮廓。扫描功能允许独立控制扫描速度和范围。所有设置都可以手动调整，也可以在设备打开后自动存储和调用。该装置还具有内置定时器和自动待机模式。ES40-PS可以作为全宽19"机架（3U高）或独立式提供。通过 USB 端口轻松更新固件。设备可通过RS232/485或以太网接口进行远程控制。自动保存功能，用于保存参数/单位预设并在重新启动后自动应用它们。
技术规格：
| 供电电压 | 100 – 120 VAC / 200 – 240 VAC，50-60 Hz（功耗蕞大250瓦） |
| 束流能量 | 0 – 5000 eV，分辨率0.1 eV，波纹<200 mV |
| 发射电流 | 0.1 – 300 μA，分辨率 0.01 μA【ES模式】 1 – 3000 nA，分辨率 1 nA 【CMA模式】 |
| 聚焦电压 | 60 – 100% 与能量电压相关，分辨率 0.1% |
| 韦内尔特电压 | 0 – 150 V，分辨率 0.1 V [ES 模式] -12 – 12 V，分辨率 0.1 V [CMA 模式] |
| 波束位置（Px，Py） | 分辨率0.01毫米，中间位置±5毫米 |
| 扫描面积（Δx， Δy） | 10毫米×10毫米，分辨率0.01毫米。 |
| 扫描速度（时间/点） | 20微秒 – 30毫秒 |
| 计时器 | 双模计时器0秒 – 99小时59分钟 |
| 真空测量（可选） | CTR90、TTR91、TTR211、PTR225、PTR90、ITR90、ITR100、巴拉特隆、模拟输入、MKS937A、PG105、MG13/14、PKR251/360/361、PCR280、ATMION |
| 通信接口 | RS232/485，以太网 |
| 通信协议 | MOdbuS-TCP |
| 用户界面 | 7英寸TFT显示屏带触摸屏，数字编码器 |
| 接口语言 | 英语、德语、波兰语 |
| 尺寸 | 483 x 133 x 435 毫米（宽 x 高 x 深），19英寸机架安装 |
| 重量（约） | 9.2公斤 |
应用：
ES40-PS电源旨在与ES40C1低能电子源或双通迷你圆柱镜分析仪CMA 40CF配合使用。电源允许微调电子束轮廓，以在高能量和发射电流下实现小光斑。
选项：
– 软件控制（专业版、扩展版或库模块），
– 用于真空测量的模拟 I/O 卡（1 个仪表）。
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