XUV/EUV/VUV光谱仪
昊量光电XUV/EUV/VUV光谱仪，核心技术特色：无狭缝（no-slit）设计、像差校正平场光栅、模块化与高度可定制化。所有系统均运 行于真空环境（典型真空度 10⁻⁴ mbar），支持超高真空（UHV）版本。定制化是常态——可根据客 户需求调整波长范围、光栅配置、探测器接口等。产品线覆盖实验室光源（HHG、等离子体）到大型设施（同步辐射、自由电子激光 FEL）的光谱诊断 需求，光谱覆盖范围为1至300 nm。
像差校正平场光栅，宽波段单次成像
全系主流 VUV/XUV 光谱仪采用变间距凹面平场光栅，同时完成色散与聚焦，焦平面平坦，可直接匹配面阵 ccd、MCP 等探测器，单次曝光即可覆盖 5–100 nm 宽波段，无需扫描即可完成全谱采集，测试效率远高于扫描式设备。其中 VUV 专用光栅衍射效率可达约 43%，在同波段处于行业顶尖水平。
独有的无狭缝设计
光谱仪设计采用“光源直接成像”原理，无需狭窄入口狭缝即可实现较高的光收集效率。与传统光谱仪结构相比，进入探测器的光通量提高 20 倍，其适配高次谐波（HHG）这类低通量 XUV/VUV 光源，同时大幅简化光路对准操作，同时显著提升日常运行的稳定性与可靠性。
同时支持有狭缝 / 无狭缝选择，可在 “高效率普查” 与 “高分辨率精细分析” 间灵活选择。
各型号XUV/EUV/VUV光谱仪特点简介：
maxLIGHT 系列 — 高效率宽波段无狭缝平场光谱仪，zui大化光通量，波长 1–200 nm
highLIGHT — zui高分辨率平场光谱仪，覆盖 1–120 nm XUV 波段，分辨率 ≤0.006 nm ，支持窄带（1–20 nm，高分辨精细分析）与宽带（5–100 nm，全谱普查）双带宽模式
easyLIGHT VUV — 紧凑型 VUV 光谱仪/单色仪一体机，80–300 nm，光栅效率高达～43%
easyLIGHT XUV — 紧凑型 XUV 光谱仪，30–250 nm，有狭缝 / 无狭缝混合设计，无狭缝效率提升达20倍
nanoLIGHT — 集成 XUV 光谱仪+光束分析仪，分辨率 0.13–0.25 nm，10–80 nm，仅 16×17 cm²，高性价比
monoLIGHT — 高通量环面光栅单色仪，覆盖 10–300 nm VUV/EUV 波段，专为实验室 VUV 光源优化 ，He I（58.4 nm）、He II（30.4 nm）等 VUV 特征谱线优化，可完全分离 He I α 与 He I β 谱线，窄带宽下仍保持极高样品处光强
beamLIGHT — 在线束线光谱仪， 覆盖 1–200 nm XUV 波段，采用 in-line 在线式设计，自带束流旁通通道，可在不中断主实验的前提下完成光谱诊断，全电动化支持远程控制，机身约 50 cm 紧凑易集成，可扩展波前传感器、泵浦 - 探测延迟单元等模块
EasyLIGHT XUV 光谱仪在极远紫外和真空紫外光谱区域通过像差校正，可实现宽波段光谱测量。其无狭缝设计，可直接对辐射源成像，省去了传统入口狭缝的繁琐调整。有狭缝模式覆盖 30–200 nm，无狭缝模式扩展至 30–250 nm，适合高次谐波（HHG）及等离子体诊断等多种应用需求。采用正入射结构，easyLIGHT XUV 在安装与准直方面远优于掠入射光谱仪，操作更为简便。
模块化设计可适配多种实验布局与配置；easyLIGHT 内置狭缝支架，并配备闭环 motorized 光栅定位系统。
内置探测器可选方案包括：用于高分辨率和动态范围的XUV CCD；用于宽谱范围覆盖及门控/增强探测的MCP/cmos组件。
光谱仪的特点：
● 无狭缝设计，光耦合效率高
● 产品矩阵完整：紧凑型、高分辨科研型、束线集成型、光谱 / 单色一体机
● 波长范围覆盖 1-300nm
● 同等性能上结构更紧凑
● 模块化、交钥匙解决方案
● 全系高真空设计，支持超高真空定制
光谱仪应用领域：
● 高次谐波（HHG）光源表征
● 阿秒科学
● 强激光-物质相互作用
● 激光与放电等离子体光源
● 同步辐射束线表征
● 自由电子激光（FEL）监测
● UPS/ARPES 终端站
● X射线发射谱（XES）
● 在线光子诊断
* 另外，可根据客户要求提供订制，详情可咨询上海昊量光电设备有限公司。
更多详情，欢迎直接联系昊量光电！
关于昊量光电：
上海昊量光电设备有限公司凭借强大的本地化销售网络与专业技术支持团队，长期服务于国内数以万计工业及科研客户，涵盖半导体、生物医疗、量子科技、精密制造、生物显微、物联传感、材料加工、光通讯等前沿领域。
昊量光电拥有的专家级的软硬件开发团队及丰富的行业应用经验，可提供：
✅ 全天候售后技术支持——快速响应，确保设备稳定运行；
✅ 定制化解决方案——从售前咨询到安装，培训，系统集成等，满足多样化需求；
✅ 客户高度认可——服务案例覆盖众多头部企业及高端科研机构，客户满意度持续居前列。
您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。
展示全部
产品标签：XUV光谱仪,EUV光谱仪,DUV光谱仪,VUV光谱仪,平场XUV光谱仪,在线XUV光谱仪,easyLIGHT,maxLIGHT, HPspectroscopy,HP 光谱仪,真空紫外光谱仪,极紫外光谱仪,平场光谱仪,无狭缝光谱仪,在线光谱仪,highLIGHT,单色仪,光束分析仪,beamLIGHT,nanoLIGHT,众星联恒,东方闪光,SIMTRUM,先锋科技,顶尖科仪,极紫外平场光栅光谱仪,UES235
