DUV汞氙灯照明光源
昊量光电新推出汞-氙混合气体放电紫外照明光源，因其高稳定直流电源驱动控制，而且没有热漂移，所以能提供稳定的紫外照明。它允许对灯泡、反射镜和集光器进行精确、可重复的调整，能实现很好的对准。非常适合用于晶圆检测、光学检查和光掩模分析，特别是用于检测精细的结构和线宽是否有错误和缺陷。
DUV汞氙灯照明光源产品的特点：
无热漂移
可重复的机械调节
点火器集成在灯罩中
紧凑的灯箱
安全电路功能
DUV汞氙灯照明光源应用的领域：
光罩的光学检查和分析用照明，特别是结构和线宽的错误或缺陷
晶圆检测
净化去污
无集光器灯罩lh-qx 100.60的深紫外光谱光谱
DUV汞氙灯照明光源产品的参数：
| 灯罩lh-qx-100.60 | |
| 固定方式 | 灯罩通过法兰或燕尾，灯头通过灯头适配器进行X、Y调节 |
| 点火装置 | 集成高压点火装置 |
| 反射器 | X, Y, Z可调节反射镜 |
| 集光器 | Z轴可调节 |
| 安全 | 符合EN 61010-1 |
| 设备防护等级 | I |
| 防护等级 | IP 20 (EN 60529) |
| 安全电路 | 有 |
| 镇流器 ebqx 100 | |
| 特点 | 控制100 W 汞氙灯泡 |
| 灯泡型号 | HAMAMATSU L8029-01, L2422-01 |
| 灯泡连接 | M1 6+PE socket, Schaltbau |
| 安全 | 安全电路，过温保护 |
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