激光稳定系统包括：激光指向稳定系统，激光频率稳定系统，激光功率稳定系统等。
激光指向稳定系统：激光光束由于其方向性好的优点，常被作为直线基准广泛应用在加工和测量设备中。但由于受环境状态等因素的影响，制约了激光方向稳定精度的进一步提高，限制了激光在超精密加工和测量设备中的进一步应用。因此，需要对激光光束作准直处理。在自动准直系统中，系统根据输入光束光斑的位置，驱动执行机构，自动调整接收装置位置，达到实时跟踪准直的目的。
激光频率稳定系统：激光具有良好的单色性和相干性，因此，在精密计量、光通信、光频标、高分辨光谱学等领域得到了广泛的应用。而激光输出受环境条件影响，往往是一个不稳定的、随时间变化的无规则的起伏量。要使激光频率稳定，则要通过稳频技术来解决。若采用恒温、防震、密封隔声等被动稳频措施，频率稳定性还不能满足系统要求，就需要主动稳频。主动稳频控制系统通过鉴别系统鉴别偏频，继而自动调节腔长，将激光频率回复到特定的标准频率上，从而达到稳频的目的。
激光功率稳定系统：激光器输出功率会随时间产生周期性或随机性的波动，使其应用范围受到限制。需要采用一些特殊措施才能增强其稳定度。稳定激光功率主要有两个途径，其一是稳定激光其本身，另一个就是稳定激光器的输出光束。不管什么原因引起的激光功率变化，反映在输出光束上是一个合成的效果，即光功率无规律的起伏。通过光反馈的方法直接对激光束输出光束进行调制，以抵消激光束的这种功率起伏，光的输出功率可控制在10-6量级。
