振镜的性能对于扫描成像设备而言非常重要，PSD（位敏探测器）作为测量装置，能够对振镜的关键性能包括位置重复性和不平行度进行检测。本文借助PSD设计了不同的光路对振镜进行测试，得到一个集光机电软为一体的非接触式测量装置。
PSD在振镜性能测试中的应用(一)
振镜以其高扫描效率常用于各种扫描成像设备之中，其质量直接影响了zui终的成像质量，因此对它的性能进行检测显得尤为重要。本文基于位置敏感探测器（PSD）设计了一款光机电软一体的非接触式测量装置，能够有效对振镜的各项性能做出分析。
同时PSD作为测试系统中的敏感探测器件，其性能的好坏对于整个测试系统精度有着很大的影响，因此首先需要设计一个唯yi平台对PSD进行性能测试。基于二维数控位移台的二维光学测试平台如图1所示，整个平台由激光器支架，半导体激光器和电控二维位移平台组成。
图1 基于二维数控位移台的二维光学测试平台
PSD在测试系统中主要用于静止/动态零位重复性，振镜反射镜与电机轴的不平行度测量，测量依赖于二维PSD两个方向的位置信息，二维PSD在x和y两个方向均具有对称性，因此我们只针对其中的x正方向进行测试，测试结果如表1所示。
表1 二维PSD在x（0~5mm）方向的测试数据
根据z小二乘法和对称性可以拟合计算出在-5mm~5mm量程范围内的拟合曲线，得到如图2所示的结果，计算可以得到PSD在x方向的非线性为0.7%，迟滞误差为0.1%。
图2 二维PSD在x方向的数据和拟合曲线
除了位置线性度之外，时间漂移也是一个较为重要的影响参数。我们将激光器的光点固定在PSD敏感面的某一个位置，每隔一段时间记录PSD的输出值，持续时间五分钟，得到如表2所示的数据。可以得到对于二维PSD而言，在x和y方向的时间漂移影响很小，考虑到输出量程均超过10V，时间漂移小于0.1%。
表2 PSD的时间漂移特性数据
根据上述数据可以发现PSD的非线性误差无法完全消除，对于振镜而言其测试精度要求很高，必须保证PSD在测试过程中有足够高的精度。为了能够简单的提高其测测试精度，在测试前会有一个简单的标定过程。
将一个安装在标准夹具上的标准反射镜固定在和振镜同轴的步进电机上，因此来代替振镜反射镜的摆动过程，标准夹具可以保证标准反射镜和扫描电机转轴完全平行。当步进电机收到脉冲信号之后就会带动固定在转轴上的反射镜转动，每转动一次就采集对应的电压值，zui后通过插值拟合出转动角度和电压之间的拟合曲线，以拟合的曲线作为标准进行计算和测试。
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