高精度垂直压电位移台
XVS系列高精度纳米级垂直定位台采用单Crossfixx™超声压电电机驱动，适用于光学对准、真空腔体精密定位。
XVP系列工业级高负载垂直定位台采用双Crossfixx™超声压电电机并联，负载2.5kg，适用于重型装配、高速检测等场景。
垂直压电位移台优势
大行程10-50mm
分辨率5-1250nm
重复精度50-80nm
大负载可达2.5kg
XVS系列垂直位移台核心参数表
型号 | 行程范围 (mm) | 驱动力（N） | 分辨率 (nm) | 重复精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XVS-1-40 | 25(SC版30) | 1 | 1250/312/78/5 | ±80(单向) / ±160(双向) | 100(真空50) |
XVS-3-40 | 25(SC版30) | 3 | |||
XVS-3-60 | 40(SC版48) | 3 | |||
XVS-3-80 | 50(SC版69) | 3 | 50(真空25) | ||
环境使用要求 | 工作温度-30℃~+70℃ 湿度要求20%-90% RH | ||||
XVS系列垂直位移台
·定位：高精度纳米级垂直定位平台，为轻载精密应用设计。
·核心特点：
·采用单Crossfixx™超声压电电机，实现无振动、静音操作。
·断电自锁功能，断电后仍保持位置稳定。
·可选质量补偿模块（MC1-MC4），负载能力提升至350g。
·兼容HV/UHV真空环境，热耗散<5W，适合稳定纳米定位。
XPS系列垂直位移台核心参数表
型号 | 行程范围 (mm) | 驱动力（min)（N） | 分辨率 (nm) | 重复精度 (nm) | 速度（max）(mm/s) |
XVP-80 | 10 | 15 | 1250/312/78/5 | ±50(双向) /±2500(双向) | 50/100 |
环境使用要求 | 工作温度-30℃~+70℃ 湿度要求20%-90% RH | ||||
XPS系列垂直位移台
·定位：高负载、高速垂直运动平台。
·核心特点：
·双Crossfixx™电机并联，驱动力达15 N（保持力30 N），负载能力2.5 kg。
·12V低电压驱动，适合嵌入式系统集成。
·可选低磁/非磁轴承（-LM/-NM），减少磁场干扰。
关键选型建议：
5nm分辨率型号必须搭配XD-M控制器
UHV版本需指定无护套电缆和特殊连接器
超过100g负载建议采用MC1-4补偿方案
·需纳米级定位：选择XVS-3-40-5-HV（5 nm分辨率，25 mm行程）。
·需高速大负载：选择XVP-80-1250（1250 nm分辨率，1000 mm/s速度）
应用场景
·光学系统校准
·真空环境应用
·生物样本操作
·生产线高速检测
1000 mm/s扫描速度实现PCB板缺陷快速筛查。
·重型装配
机器人末端执行器搬运2.5 kg光学元件（双电机30N保持力防滑落）。
·医疗设备驱动
手术机械臂的垂直进给（12V低压安全驱动，非磁轴承避免MRI干扰）
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