高效率XUV/EUV/VUV探测器
昊量光电的探测器产品面向VUV（真空紫外）/XUV（极紫外）/X 射线领域的光谱与成像应用，分为两大技术路线：直接探测型 ccd 相机（easyCAM、maxCAM）与MCP/cmos 组合式探测器。
全系列产品均适配高真空环境（兼容 10⁻⁸ mbar），采用标准 CF 真空法兰接口，支持 USB 与原生以太网即插即用连接，配套专业光谱学软件与多语言 SDK，可无缝集成到各类光谱系统与自动化实验装置中；核心设计针对极弱光场景优化，在光子通量极低的科研场景中实现高信噪比探测。
CCD 相机系列（easyCAM /maxCAM）
CCD 系列属于直接探测型探测器，均采用 e2v 原厂 Grade 1 级增强工艺 CCD 芯片，搭配 TE 半导体制冷与低噪声读出电子学，具备高分辨率、高线性度、大动态范围的特点，是绝大多数 VUV/XUV 光谱实验的主流方案。
核心参数：
zui
参数 | easyCAM | maxCAM |
| 传感器 | e2v 1 级前照式 CCD，采用增强工艺 | e2v 1 级背照式 CCD，增强工艺，无镀膜 |
| 像素规格 | 1024 × 255 （可定制其他规格） | 1024 × 255 （可定制其他规格） |
| 像素尺寸 | 26 × 26 μm | 26 × 26 μm |
| 感光面积 | 26.7 × 6.7 mm | 26.7 × 6.7 mm |
| 光谱采集速率 | 全垂直合并模式：200 帧 / 秒 裁切模式：1000 帧 / 秒 | 全垂直合并模式：200 帧 / 秒 裁切模式：1000 帧 / 秒 |
| 低制冷温度 | 风冷模式下 -60℃ | 风冷模式下 -60℃ |
| 电荷阱深 | 有源区：500 000 电子 寄存区：1 000 000 电子 | 有源区：500 000 电子 寄存区：1 000 000 电子 |
| 读出噪声 | 典型值 12.5 电子@500kHz | 典型值 12.5 电子@500kHz |
| 暗电流 | 0.004 电子 / px/s@60℃ | 0.004 电子 / px/s@60℃ |
| 线性度 | ＞99% | ＞99% |
| 数字化位数 | 16 位 | 16 位 |
| 接口法兰 | DN63CF / 4.5 英寸 或 DN100CF / 6 英寸 | DN63CF / 4.5 英寸 或 DN100CF / 6 英寸 |
| 真空兼容度 | 10⁻⁸ mbar | 10⁻⁸ mbar |
| 通信接口 | USB 或 10/100M 以太网 | USB 或 10/100M 以太网 |
| 软件开发工具包（SDK） | 支持 Matlab、Labview、Visual Basic、C/C++ | 支持 Matlab、Labview、Visual Basic、C/C++ |
产品特色：
超宽光谱响应
专为XUV/VUV波段优化，覆盖10-200nm，同时兼容紫外至近红外（可选型号），满足多波段精密探测需求。
极限灵敏度
采用背照式传感器与深制冷技术（-80℃以下），实现单光子级探测能力，信噪比显著优于常规科学CCD/CMOS。
时间分辨专家
纳秒级曝光控制与高速读出，精准捕捉等离子体瞬态发光、激光脉冲等超快现象。
严苛环境适应性
真空兼容设计、抗辐射加固，适用于同步辐射装置、空间探测等高压/高能环境。
智能分析平台
支持LIBS、拉曼等光谱算法预置，兼容主流科研软件（LabVIEW/Python），提升数据产出效率。
效率和噪声曲线：
maxCAM
easyCAM
产品应用：
VUV/EUV/XUV 波段的发射光谱、吸收光谱测量
同步辐射光束线的光谱采集与成像
等离子体物理的光谱诊断
半导体、薄膜材料的真空紫外光学表征
极弱光条件下的定量光谱分析与成像
MCP/CMOS 探测器
MCP/CMOS 属于增益型组合探测器，由微通道板（MCP）、荧光屏与低噪声 CMOS 读出相机集成而成，通过 MCP 的电子倍增效应实现单光子级探测能力，专门应对极弱光、时间分辨等特殊场景。
核心特点：
极低暗计数，支持超长积分：暗计数率低至 1 /s/cm²，可支持数小时级的超长采集时间，适配每小时仅数个信号光子的极低通量场景。
纳秒级门控探测：支持 MCP 门控功能，门控时间可达纳秒量级，可精准隔离脉冲信号中的前驱脉冲与后沿脉冲，实现时间分辨测量。
超宽光谱带宽：大面积 MCP 结构支持极宽的光谱覆盖范围，可匹配大带宽光谱仪，实现全波段一次性探测。
交钥匙式集成：一体化整机设计，即插即用；支持 USB 与以太网接口，配套专业软件，提供 Labview、C#、Matlab SDK，支持自动化控制。
产品应用：
单光子级极弱光信号探测（如极紫外荧光、低通量同步辐射）
纳秒级时间分辨门控探测、脉冲等离子体诊断
超宽波段光谱测量
超长积分时间的低通量光谱实验
超快过程、激光诱导击穿光谱等时间相关的光谱检测
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