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70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圆)

  • 70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圆)
适用于12英寸大基板的高功率UV-LED曝光系统——ALE/2系列UV-LED光源!

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70W大功率紫外 UV-LED曝光光源(ALE/2系列,12英寸晶圆)

--- 适用于12英寸大型基板曝光


ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源,高达70W的i线(365nm)曝光,高达80W的宽带曝光(350-450nm),适用于均匀度较高以及准直性能高的大型基板曝光工具(比如12英寸,8英寸),目前已广泛试用在掩膜对准系统,步进系统(高端封装),准直曝光系统及大功率辐射要求的固化系统,ALE/2系列UV-LED曝光光源已成为半导体光刻制造及检测领域中的一个理想工具。


ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外点光源,适用于需要完美均匀和准直辐射的大型基材工业泛光曝光工具。这些可能是8″(200毫米)或12″(300毫米)掩模对准器。它的紫外线输出足够强大,可以为更大的装置提供动力,正方形曝光面积可达400 X 400毫米,在某些情况下,甚至超过这个范围。ALE/2采用UV-LED技术,具有优异的输出稳定性和灵活的光谱控制,优于传统的高压汞放电灯。此外,它还消耗更少的电力,产生更少的热量,持续时间更长,并且不需要太多的整体维护。


ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中组合四个反馈控制的高功率UV-LED。可提供i线(CWL 365 nm)和宽带(CWL 365 / 405 / 436 nm)配置。在纯i线工艺中,ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美额定功率高达5,000 W的传统放电汞灯光源。对于宽带模式,ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可与2,000 W放汞灯光源相媲美。


ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式设计方法,通常由一个控制子系统(CSS)+一个单独的曝光子系统(ESS)组成。ESS 的标准光出口是一个 16 mm X 16 mm 的光管 ,光引擎可以与标准和定制的聚光光学元件结合使用,以实现高度均匀的曝光。


 



ALE/2系列UV-LED曝光光源应用场


半导体光刻制造(12英寸大基板)
光固化应用和其他
掩膜对准系统
大面积光固化(400mm)
步进系统(高端封装)高辐射剂量固化应用
准直曝光系统紫外成像
晶圆光刻曝光
晶圆缺陷检测



ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特点:


  • 内置解决方案可实现更高曝光效率和性能;

  • 高达70W的纯i线曝光(365nm);

  • 高达80W的宽带模式曝光(350-450nm);

  • 闭环光控制输出;

  • 无汞,绿色光源;

  • 无需外部冷却,更节能;


ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示:


ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源规格参数:


发光单元选项
多大4个波长,如365nm, 385nm,405nm,435nm
输出功率up to 80W@宽带,  up to 70W@i线-365nm
数值孔径NA 0.3(2a ~35°) 配合标准聚光镜 (condenser)
控制配置

1、独立的LED电源管理和预设;

2、高分辨率强度调整(10%-100%);

3、LED上升时间<1ms;

4、持续监控光输出和反馈控制;

通讯接口

1、离散PLC接口(TTL);

2、USB(串行);

3、以太网/MOdbuS TCP/IP (可选);

热管理

1、带内部散热器的液体冷却(Standard mode);

2、外部冷却器(可选项),(performance mode );

尺寸(W H D)

ESS      21 x 21 x 36cm ;

CSS      44 x18  x 37cm ;

重量

ESS      4Kg ;

CSS     10Kg ;

电源输入110-240V/ 50-60Hz / 1500W


更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

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