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激光干涉仪

激光干涉是以激光波长为基准长度,通过干涉系统精密测量位移的计量装置。其利用激光的高方向性、单色性和空间相干性,将被测位移量转换为干涉条纹的光强变化实现高精度测量‌。核心原理为迈克耳逊干涉系统:激光束分束为参考光与测量光,经反射镜反射后叠加形成干涉。当测量光路因位移产生光程差时,干涉条纹发生移动,通过记录条纹变化量即可计算位移值‌。