星朗浩宇拟亮相2026深圳国际全触与显示展,聚焦真空成膜实时膜厚监测(展位号:16B66)
2026深圳国际全触与显示展将于10月27—29日在深圳国际会展中心(宝安新馆)举行。展会聚焦新型显示、智慧触控及终端应用,为材料、设备与制造企业搭建技术交流和供需对接平台。

星朗浩宇光电科技(上海)有限公司拟携薄膜检测与光谱表征方案参展,展位号:16B66,重点介绍 Semiconsoft MProbe50 真空原位实时膜厚测量系统及 UVVisF 门控配置,面向 OLED、显示功能薄膜及半导体成膜工艺,展示实时光学监测的应用价值。

在显示薄膜研发与制造中,膜厚和光学常数是影响薄膜光学表现及器件性能的重要因素。将测量引入沉积过程,可以帮助研究人员与工艺工程师及时了解薄膜生长变化,分析工艺条件与成膜结果之间的关系。
MProbe50 支持真空环境下的薄膜厚度监测,并可结合光学模型分析折射率 n、消光系数 k。针对具有适当透光性的膜层,系统能够连续获取测量数据,为沉积趋势分析、工艺参数比较及膜系优化提供依据。

针对成膜设备中可能存在的环境光干扰,MProbe50 采用高强度脉冲氙灯与门控数据采集技术,通过控制采集时序,支持在较强环境光条件下开展光学测量。
本次介绍的 UVVisF 门控配置覆盖200–1000 nm光谱范围,膜厚测量范围为1 nm–20 μm,典型测量频率为10–20 Hz,可用于跟踪成膜过程中的膜厚变化。具体测量范围与性能取决于材料、膜系结构、光学模型及工况,以实际样品验证为准。

MProbe50 可根据沉积腔体结构、光学窗口及样品位置定制测量配置,支持正入射或斜入射,以及聚焦或准直光路。测量探头既可布置在真空窗口外,也可通过光纤馈通方式连接腔体内部,为现有设备集成提供多种选择。
系统采用无运动部件设计,并提供500余种材料数据库作为光学建模参考,便于用户结合实际膜层与测试目标开展配置评估。

围绕 OLED 与功能镀膜应用,星朗浩宇将与用户交流 ITO 及 OLED 功能膜层等样品的原位测厚需求,探讨沉积过程监测与成膜后膜厚、光学常数分析的配合方式。
除 MProbe50 外,本次拟介绍的方案还包括多波长椭偏、光谱椭偏、显微分光测厚、超高速测厚、共聚焦拉曼成像,以及在线颜色与透射率测量,覆盖微区厚度、面内均匀性和材料光谱等检测需求。
星朗浩宇期待借助本届展会,与显示、触控及薄膜制造领域的用户深入交流,结合具体材料、膜系与设备条件,探讨适合的薄膜检测与工艺监测方案。
展会时间:2026年10月27—29日
展会地点:深圳国际会展中心(宝安新馆)
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