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压电马达位移台

比利时Xeryon公司的压电超声马达平移台，基于压电陶瓷的逆压电效应，施加高频电压使陶瓷产生微观超声振动，经机械结构转化为定子表面的椭圆运动，通过摩擦驱动动子实现纳米级精度的线性或旋转位移。全程无齿轮、丝杠等传动机构，属直接驱动。提供各类大行程压电位移台，一维压电马达平移台和多轴压电马达平移台。使用Xeryon具有专利的压电超声马达驱动，具有100mm级行程和nm级别精度。