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可变形反射镜

变形镜可变形反射镜)是自适应光学系统中的核心部件之一。可变形反射镜担负着校正由内、外因素引入的波前误差的重要任务,并通过变形镜的精确调节来补偿光路中各种因素引起的成像质量降低问题。根据驱动方式的不同,可变形反射镜主要分为四种类型:压电式变形镜、电磁式变形镜、电致伸缩式变形镜以及液压式变形镜。

微电子机械系统(MEMS)技术的发展为变形镜带来了革命性的进步。采用MEMS技术制造的可变形反射镜代表了当前最先进的变形镜制造工艺,这种可变形反射镜集成了微能源、微驱动器、微传感器等多种功能单元,实现了变形镜的小型化和高性能化。

作为关键光学元件,可变形反射镜不仅在天文望远镜和详查相机等传统领域发挥着重要作用,变形镜技术还在光束净化光束整形、激光腔内像差校正等新兴领域展现出巨大潜力。特别值得一提的是,可变形反射镜在医学领域的人眼像差检测与校正方面也取得了显著成果,充分展现了变形镜技术的广泛应用前