首页  技术文章  椭偏仪(九)-椭偏光谱技术的应用

椭偏仪(九)-椭偏光谱技术的应用

发布时间:2023-05-31 16:14:53 浏览量:1041 作者:Alex

摘要

随着应用与需求的扩大,椭偏术可以应用到物理、化学、材料学、微电子技术、薄膜技术、冶金学、天文 学、生物和医学等方面。

正文


椭偏仪(九)-椭偏光谱技术的应用


椭偏光仪用途是比较广的,可用来测量各种透明或半透明膜层的厚度及折射率和 吸收系数,检验膜层的均匀性,帮助鉴别膜层组分,测量物质的折射率和消光系数,研究各种表面层和表面过程,诸如氧化、腐蚀、吸附、润滑、催化等。因此,椭偏光仪在许多工业部门和基本研究中都可应用。


(1) 固体薄膜光学性质的测量 应用椭偏术可对单层吸收膜、双层膜及多层膜进行测量,得到材料的光学常数折射率N和吸收系数K,进而得到其介电常数。近年来也实现了对离子注入损伤分布的测量、超晶格、粗糙表面、界面的测量。


(2) 物理吸附和化学吸附 用椭偏术方法在现场且无损地研究过与气态、液态周围媒质相接触地表面上吸附分子或原子形态的问题。


(3) 界面与表面的应用 椭偏广泛用于研究处于各种不同环境中的材料的表面的氧化和粗糙程度,以及材料接触界面的分析。例如金属和半导体接触,以及肖特基的研究。


(4) 电化学 离子吸附、阳极氧化、钝化、腐蚀及电抛光等电化学过程,可以现场深入地研究电极-电解液界面过程。


(5) 微电子领域 在微电子领域中,研究薄膜生长过程,薄膜厚度,半导体的表面状况以及不同材料的界面情况,离子的注入损伤分布等;一些高技术材料的研究及其它新领域:高温超导材料、低维材料、导电聚合物以及光电子学、声光学和集成光学、激光技术等领域,椭偏术还用来研究固体的辐射损伤。


如果您对椭偏仪相关产品有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:

https://www.auniontech.com/three-level-56.html


更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。