偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。
椭偏仪（八）-椭偏仪测量薄膜的优点和特点
测量薄膜其实并非仅仅只有使用椭偏仪来测量，但为何我们光学人更加偏爱使用椭偏仪来测量薄膜厚度呢？在这里那就不得不说说我们使用椭偏仪测量薄膜的优点和特点了：
(1) 测量的对象广泛,可以测量透明膜,无膜固体样品,多层膜,吸收膜和众多性能不同、厚度不同、吸收程度不同的薄膜,甚至是强吸收的薄膜。
(2) 被测量的薄膜大小尺寸可以很小,只要 1ｍｍ即可测量,小于光斑的大小
(3) 方式灵活,既可以测量反射膜,也可以测量透射膜。
(4) 测量的速度很快。
(5) 在各种粒子束分析测试技术中,光束引起的表面损伤以及导致的表面结构改变是zui小的。
(6) 在椭偏光谱中,被测对象的结构信息(电子的、几何的)是蕴含在反射(或透射)出来的偏振光束中,通过光束本身与物质相互作用前后产生的偏振状态(振幅、相位)的改变反映出来。
(7) 测量精度高。椭偏光谱的工作原理虽然建立在经典电磁波理论上,但实际上它有原子层级的灵敏度。对薄膜的测量准确度可以达到1nm,相当于单原子层的厚度。
(8) 非苛刻性测量。样品可以是块体材料与薄膜,由于它可测得物质在一个波长范围内介电函数的实部和虚部,信息量较多,可对固体样品作精细分析。
能同时分别测量出几个物理量。椭偏光谱可直接得到光学常数的实部和虚部,不需要Ｋ-Ｋ关系.
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