椭偏成像技术的测量基于传统椭偏测量术，即用偏振光波为探测光照射样品，样品对入射光波进行调制，使得反射光中载有样品的信息。
椭偏仪（二）-光在各向同性且均匀的界面反射原理
椭偏成像技术的测量基于传统椭偏测量术，即用偏振光波为探测光照射样品，样品对入射光波进行调制，使得反射光中载有样品的信息。椭偏测量系统包括三个基本部分：起偏部分、样品部分和检偏部分。起偏部分用于产生偏振态已知的椭圆偏振探测光；补偿器和起偏器相结合可以产生任意形态的椭圆偏振，探测光倾斜入射到样品表面，与样品相互作用使得反射光偏振态发生变化，从而载有样品信息；反射光经过检偏器后变成线偏振光，通过显微成像系统，椭偏成像在 ccd 相机等图像传感器上；摄像机采集的模拟信号通过视频显示器显示，并进一步经图像采集卡进行A/D转换，转变成数字图像文件进入到计算机。通过计算机，对数字图像文件进行分析获得样品的信息。
一束单色光投射在一各向同性且材质均匀的界面上，上半部分折射率为n1，下半部分折射率为n2，光会在界面处发生反射和折射，如下图所示。
示意图 单色光在各向同性且材质均匀的界面上的反射和折射
其中Eip、Erp和Etp分别为p光的入射、反射和折射电矢量，Eis、Ers和Ets分别为s光的入射、反射和折射电矢量，θ1和θ2为入射角和折射角。光波电矢量可以分解为振动方向平行于入射面的p光和振动方向垂直于入射面的s光。分别定义p光和s光的反射系数rp和rs，由麦克斯韦方程组和边界条件，能够推导出p光、s光的反射系数与介质折射率、入射角和折射角的关系，即菲涅耳反射系数。
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